等離子清洗機(jī),作為現(xiàn)面處理技術(shù)中的佼佼者,其基本原理基于等離子體物理學(xué)。等離子體,作為物質(zhì)的第四態(tài),由高度電離的氣體組成,其中包含了大量的電子、離子、自由基及中性粒子等活性成分。在等離子清洗機(jī)中,通過特定的放電方式(如射頻放電、微波放電或直流放電等),將工作氣體(如氬氣、氧氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w)激發(fā)成等離子體狀態(tài)。這些高能活性粒子在電場(chǎng)作用下,加速撞擊待處理物體的表面,與表面污染物發(fā)生物理化學(xué)反應(yīng),如剝離、氧化、還原、刻蝕等,從而實(shí)現(xiàn)表面清潔與改性的目的。等離子清洗機(jī)因其非接觸式、無化學(xué)殘留、環(huán)境友好、清洗效果明顯且可處理復(fù)雜形狀工件等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、精密機(jī)械、航空航天、生物醫(yī)藥等多個(gè)領(lǐng)域,成為現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的表面處理設(shè)備。寬幅等離子適用于各種平面材料的清洗活化,搭配等離子發(fā)生裝置,可客制化寬幅線性等離子流水線設(shè)備。上海真空等離子清洗機(jī)哪里買
等離子表面處理技術(shù)憑借其獨(dú)特的優(yōu)勢(shì),在3C消費(fèi)電子行業(yè)得到了廣泛應(yīng)用,助力提升3C電子產(chǎn)品組裝的穩(wěn)定性和可靠性,改善用戶體驗(yàn),提高產(chǎn)品競(jìng)爭(zhēng)力。在手機(jī)行業(yè)中,等離子表面處理技術(shù)主要應(yīng)用于手機(jī)組裝粘接前、中框粘接前、攝像頭模組封裝前、手機(jī)觸摸屏等工藝中,通過等離子處理可有效解決粘接不牢、焊接不牢、點(diǎn)膠易掉等問題,提高良品率。手機(jī)組裝粘接前、中框粘接前、蓋板粘接前通過大氣等離子處理,可有效增強(qiáng)表面附著力,提高粘接質(zhì)量。攝像頭模組需在DB前、WB前、HM前、封裝前進(jìn)行真空等離子清洗,活化材料表面,提高親水性和黏附性能,防止溢膠,增強(qiáng)封裝貼合度。福建國產(chǎn)等離子清洗機(jī)品牌射頻電源的頻率直接決定了電場(chǎng)變化的速率,進(jìn)而影響等離子體的生成和特性。

隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn),以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個(gè)芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機(jī)械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點(diǎn)膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進(jìn)行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點(diǎn)膠質(zhì)量的同時(shí)可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。
光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,其成本約占IC制造工藝的20-30%,光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,去膠效果太強(qiáng)容易造成基底損傷,影響整個(gè)產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,成本低效率高,但隨著技術(shù)不斷選代更新,越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,它不需要浸泡化學(xué)溶劑,也不用烘干,去膠過程更容易控制,避免過多算上基底,提高產(chǎn)品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠,其原理同等離子清洗類似,主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應(yīng)來去除光刻膠,由于光刻膠的基本成分是碳?xì)溆袡C(jī)物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng),生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對(duì)清洗物件進(jìn)行轟擊達(dá)到去膠的目的,主要的氣體為氧氣、氬氣等,通過射頻產(chǎn)生氧離子,轟擊清洗物件,以獲得表面光滑的較大化,并且結(jié)果是親水性增大。在線式等離子清洗機(jī)清洗芯片表面時(shí),離子轟擊的同時(shí)也會(huì)產(chǎn)生離子反應(yīng)。

等離子清洗機(jī)在IC封裝中的應(yīng)用:塑封固化前:IC封裝的注環(huán)氧樹脂過程中,污染物的存在還會(huì)導(dǎo)致氣泡的形成,氣泡會(huì)使芯片容易在溫度變化中損壞,降低芯片的使用壽命。所以,避免塑封過程中形成氣泡同樣是需解決的問題。芯片與基板在等離子清洗后會(huì)更加緊密地和膠體相結(jié)合,氣泡的形成將減少,同時(shí)也可以顯著提高元件的特性,引線鍵合前:芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫固化,如果這時(shí)上面存在污染物,這些氧化物會(huì)使引線與芯片及基板之間焊接效果不完全或黏附性差,影響鍵合強(qiáng)度。等離子清洗運(yùn)用在引線鍵合前,會(huì)顯著提高其表面活性,從而提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性。在IC封裝工藝過程中,芯片表面的氧化物及顆粒污染物會(huì)降低產(chǎn)品質(zhì)量,如果在封裝工藝過程中的裝片前引線鍵合前及塑封固化前進(jìn)行等離子清洗,則可有效去除這些污染物。使用等離子清洗機(jī)對(duì)汽車門板進(jìn)行預(yù)處理,可以去除表面污染物和殘留物,提高表面的清潔度和活性。江蘇寬幅等離子清洗機(jī)量大從優(yōu)
等離子清洗機(jī)可以有效地去除LCD屏幕制造過程中的各種污染物。上海真空等離子清洗機(jī)哪里買
在微電子封裝領(lǐng)域,Plasma封裝等離子清洗機(jī)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。隨著集成電路技術(shù)的不斷發(fā)展,芯片尺寸不斷縮小,對(duì)封裝過程中的表面清潔度要求也越來越高。傳統(tǒng)的濕法清洗方法難以徹底去除芯片表面的微小顆粒和有機(jī)物殘留,而Plasma封裝等離子清洗機(jī)則能夠在分子級(jí)別上實(shí)現(xiàn)表面的深度清潔,有效去除這些污染物,提高封裝的可靠性和穩(wěn)定性。此外,等離子體還能對(duì)芯片表面進(jìn)行改性,提高其與封裝材料的粘附力,降低封裝過程中的失效風(fēng)險(xiǎn)。因此,Plasma封裝等離子清洗機(jī)已成為微電子封裝生產(chǎn)線上的必備設(shè)備。上海真空等離子清洗機(jī)哪里買