在芯片封裝技術(shù)中,等離子體清洗已成為提高成品率的必由之路。先進(jìn)的倒裝芯片設(shè)備在市場(chǎng)上越來(lái)越突出,微波等離子體工藝在穿透模具下面的微小間隙方面。所有表面,無(wú)論模具下的體積大小,都被完全調(diào)節(jié)。達(dá)因特生產(chǎn)的等離子體清洗機(jī)都能很好的處理,提供粘合性和顯著提高的粘附速度。適用范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出20x20毫米和50微米凸起的模具尺寸。用于顯示器制造的大型基板的均勻等離子體清洗需要一個(gè)可擴(kuò)展的系統(tǒng)概念。等離子體系統(tǒng)正是為這類應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,能夠提供快速、均勻的清洗或剝離效果。等離子體過(guò)程得益于高的自由基濃度和等離子體密度以及低的過(guò)程誘導(dǎo)加熱。良好的均勻性對(duì)于在單個(gè)基板上保持良好的過(guò)程控制以及運(yùn)行到運(yùn)行的重復(fù)性至關(guān)重要。等離子體表面處理機(jī)也叫等離子清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、plasma清洗機(jī)。江西在線式等離子清洗機(jī)工作原理是什么
半導(dǎo)體封裝過(guò)程中,等離子清洗機(jī)扮演著至關(guān)重要的角色。在封裝前,芯片表面往往會(huì)殘留微量的有機(jī)物、金屬氧化物和微粒污染物,這些污染物不僅影響芯片的性能,還可能導(dǎo)致封裝過(guò)程中的失效。因此,清潔度成為了封裝工藝中不可或缺的一環(huán)。等離子清洗機(jī)利用高能等離子體對(duì)芯片表面進(jìn)行非接觸式的清洗。在清洗過(guò)程中,高能粒子轟擊芯片表面,打斷有機(jī)物的化學(xué)鍵,使其轉(zhuǎn)化為易揮發(fā)的小分子;同時(shí),等離子體中的自由基與金屬氧化物反應(yīng),將其還原為金屬單質(zhì)或易于清洗的化合物。此外,等離子體的高活性還能有效地去除微粒污染物,提高芯片表面的清潔度。相較于傳統(tǒng)的濕法清洗,等離子清洗具有更高的清潔度、更低的損傷率和更好的環(huán)境友好性。它不需要使用化學(xué)試劑,因此不會(huì)產(chǎn)生廢液,符合現(xiàn)代綠色制造的理念。北京半導(dǎo)體封裝等離子清洗機(jī)品牌通過(guò)等離子表面活化,可以提高玻璃基板表面親水性,有效優(yōu)化表面附著力,提升電池的穩(wěn)定性和品質(zhì)。

芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過(guò)高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物,就會(huì)影響引線與芯片及基板間的焊接效果,使鍵合不完全或粘附性差、強(qiáng)度低。在WB工藝前使用等離子處理,可以顯著提高其表面附著力,從而提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性,提升WB工藝質(zhì)量。在FlipChip(FC)倒裝工藝中,將稱為“焊球(SolderBall)”的小凸塊附著在芯片焊盤上。其次,將芯片頂面朝下放置在基板上,完成芯片與基板的連接后,通常需要在在芯片與基板之間使用填充膠進(jìn)行加固,以提高倒裝工藝的穩(wěn)定性。通過(guò)等離子清洗可以改善芯片和基板表面潤(rùn)濕性,提高其表面附著力,進(jìn)而影響底部填充膠的流動(dòng)性,使填充膠可以更好地與基板和芯片粘結(jié),從而達(dá)到加固的目的,提高倒裝工藝可靠性。
等離子清洗機(jī)與傳統(tǒng)濕法清洗相比,等離子清洗機(jī)優(yōu)勢(shì)主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:1.適用材料可以處理各種各樣的材質(zhì),無(wú)論是金屬、塑料、橡膠、半導(dǎo)體、氧化物,還是高分子材料都可以使用等離子清洗技術(shù)來(lái)處理。2.被清洗工件經(jīng)過(guò)離子干燥處理后,不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序??梢蕴岣哒麄€(gè)工藝流水線的處理效率;3.清洗后的工件表面基本沒(méi)有殘留物,并且可以通過(guò)搭配和選擇多種等離子清洗類型達(dá)到不同的清洗目的;4.改善材料本身的表面性能,如提高表面的潤(rùn)濕性能、改善膜的黏著力等,這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。5.由于等離子清洗的方向性不強(qiáng),因此不需要過(guò)多考慮被清洗工件的形狀,強(qiáng)力適用于帶有凹陷、空洞、褶皺等復(fù)雜結(jié)構(gòu)的工件。在噴涂UV絕緣材料之前,通過(guò)等離子表面處理可以粗化電芯鋁殼表面,提高其表面附著力。

封裝過(guò)程中的污染物,可以通過(guò)離子清洗機(jī)處理,它主要是通過(guò)活性等離子體對(duì)材料表面進(jìn)行物理轟擊或化學(xué)反應(yīng)來(lái)去除材料表面污染,但射頻等離子技術(shù)因處理溫度、等離子密度等技術(shù)因素,已無(wú)法滿足先進(jìn)封裝的技術(shù)需求,因此,更推薦大家使用微波等離子清洗技術(shù)~微波等離子清洗機(jī)的優(yōu)勢(shì)處理溫度低于45℃:避免對(duì)芯片產(chǎn)生熱損害等離子體不帶電:對(duì)精密電路無(wú)電破壞。在芯片封裝工藝中,芯片粘接/共晶→引線焊接→封裝→Mark等工藝環(huán)節(jié),均推薦使用微波等離子清洗機(jī),無(wú)損精密器件、不影響上道工藝性能,助力芯片封裝質(zhì)量有效提升。等離子表面處理也叫等離子清洗機(jī)(plasma cleaner),或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術(shù)。江西在線式等離子清洗機(jī)工作原理是什么
關(guān)于plasma清洗機(jī)處理的時(shí)效性,在常規(guī)下是有時(shí)效性的,而且根據(jù)產(chǎn)品的不同,時(shí)效性也不同。江西在線式等離子清洗機(jī)工作原理是什么
等離子體是物質(zhì)的一種狀態(tài),也叫做物質(zhì)的第四態(tài),并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對(duì)氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)。等離子體的“活性”組分包括:離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等。等離子清潔機(jī)就是通過(guò)利用這些活性組分的性質(zhì)來(lái)處理樣品表面,從而實(shí)現(xiàn)清潔、涂覆等目的。等離子清洗機(jī)的主要作用機(jī)理是通過(guò)產(chǎn)生等離子體來(lái)處理樣品表面,使得表面變得更加清潔、活化或蝕刻。等離子體是一種由離子、電子、原子、活性基團(tuán)、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài))、光子等組成的特殊狀態(tài),它具有極高的化學(xué)活性,可以有效地與樣品表面發(fā)生反應(yīng),從而清潔表面或改變表面的性質(zhì)。江西在線式等離子清洗機(jī)工作原理是什么