光刻膠的去除在IC制造工藝流程中占非常重要的地位,其成本約占IC制造工藝的20-30%,光刻膠去膠效果太弱影響生產(chǎn)效率,去膠效果太強容易造成基底損傷,影響整個產(chǎn)品的成品率。傳統(tǒng)主流去膠方法采用濕法去膠,成本低效率高,但隨著技術不斷選代更新,越來越多IC制造商開始采用干法式去膠,干法式去膠工藝不同于傳統(tǒng)的濕法式去膠工藝,它不需要浸泡化學溶劑,也不用烘干,去膠過程更容易控制,避免過多算上基底,提高產(chǎn)品成品率。干法式去膠又被稱為等離子去膠,其原理同等離子清洗類似,主要通過氧原子核和光刻膠在等離子體環(huán)境中發(fā)生反應來去除光刻膠,由于光刻膠的基本成分是碳氫有機物,在射頻或微波作用下,氧氣電離成氧原子并與光刻膠發(fā)生化學反應,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通過泵被真空抽走,完成光刻膠的去除。等離子物理去膠過程:主要是物理作用對清洗物件進行轟擊達到去膠的目的,主要的氣體為氧氣、氬氣等,通過射頻產(chǎn)生氧離子,轟擊清洗物件,以獲得表面光滑的較大化,并且結(jié)果是親水性增大。在噴涂UV絕緣材料之前,通過等離子表面處理可以粗化電芯鋁殼表面,提高其表面附著力。山西國產(chǎn)等離子清洗機生產(chǎn)企業(yè)
等離子清洗機(plasma cleaner)是高科技的一款表面處理設備,通過等離子體來達到表面處理的作用;獲得清洗、活化、刻蝕、涂層等多方向的應用,解決各種行業(yè)的表面處理難題。1、等離子清洗機原理密閉的反應腔體(真空室、真空腔體)被真空泵不斷抽氣,從1個標準大氣壓下降到設定的壓力值并維持真空度;通入氬、氫、氮氣等工藝氣體,啟動等離子發(fā)生器,讓反應腔體內(nèi)電極之間產(chǎn)生高壓交變電場,使得自由電子能量加速,去激發(fā)工藝氣體分子形成等離子體,具有高反應活性或高能量的等離子體,會與有機污染物及微顆粒污染物反應、碰撞形成各種揮發(fā)性物質(zhì),這些揮發(fā)性物質(zhì)伴隨工藝氣流由真空泵抽取出去,從而達到被處理對象表面清潔、活化等目的。山西國產(chǎn)等離子清洗機生產(chǎn)企業(yè)手機組裝粘接前、中框粘接前、蓋板粘接前通過大氣等離子處理,可有效增強表面附著力,提高粘接質(zhì)量。

在Mini LED封裝工藝中,針對不同污染物并根據(jù)基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工藝可以得到理想的效果,但是使用錯誤的工藝氣體方案,都會導致清潔效果不好甚至產(chǎn)品報廢。例如銀材料的芯片采用氧等離子工藝,則會被氧化發(fā)黑甚至報廢。一般情況下,顆粒污染物及氧化物采用氫氬混合氣體進行等離子清洗,鍍金材料芯片可以采用氧等離子體去除有機物,而銀材料芯片則不可以。在封裝工藝中對等離子清洗的選擇取決于后續(xù)工藝對材料表面的要求、材料表面的特征、化學組成以及污染物的性質(zhì)等。等離子清洗機可以增強樣品的粘附性、浸潤性和可靠性等,不同的工藝會使用不同的氣體。
汽車內(nèi)外飾件普遍呈彎曲、凹凸等非平面造型,在噴漆、粘接、涂覆工藝前,可使用等離子設備對汽車內(nèi)飾件、儀表板、儲物盒、天窗導軌、車燈等內(nèi)外飾件進行表面活化,確保后續(xù)工藝質(zhì)量。等離子表面處理具有處理效果均勻。無明火室溫處理,材料不易燙壞變形、環(huán)保無污染和適用范圍廣等優(yōu)點,在汽車產(chǎn)業(yè)中也起著不可或缺的作用。①塑料內(nèi)飾件粘接前經(jīng)等離子處理可實現(xiàn)表面活化,改善表面潤濕性,確保粘接質(zhì)量。②大尺寸彎曲、凹凸非平面的內(nèi)飾件可使用真空等離子清洗機高效、均勻地進行表面活化處理,不同規(guī)格的內(nèi)飾件可定制相應尺寸的腔體。真空等離子清洗設備可以清洗各種材料的物體表面,包括金屬、塑料、陶瓷、玻璃等。

隨著汽車行業(yè)標準的逐漸提高,消費者購車時對車輛的外觀、內(nèi)飾、智能化的要求也隨之提高。新的需求推動了新技術和新材料的應用,目前,等離子處理技術正被積極應用在汽車內(nèi)外飾行業(yè)中,該技術通過高密度的等離子體對材料表面進行表面清洗活化和改性處理,提升材料的表面性能,從而提高內(nèi)外飾件粘接、貼合、植絨等工藝段質(zhì)量,汽車內(nèi)外飾件品質(zhì)與技術的雙重飛躍。汽車大尺寸內(nèi)飾塑膠件普遍呈彎曲、凹凸等非平面造型,火焰法處理與常壓等離子均處理時會存在無法處理到的死角,使用大腔體真空等離子可高效、均勻進行表面活化處理,提高潤濕性,從而提高粘接強度,不同規(guī)格的內(nèi)飾件可定制相應尺寸的腔體。通過等離子表面活化改善其潤濕性,可改善塑料表面上用油墨進行涂漆或印刷的力度。四川寬幅等離子清洗機24小時服務
等離子清洗機屬于干式工藝,無需添加化學藥劑,無廢水排放,對環(huán)境無污染,完全符合節(jié)能和環(huán)保的需求。山西國產(chǎn)等離子清洗機生產(chǎn)企業(yè)
塑料制品基本材料主要為聚丙烯(PP)、聚已烯(PE)、聚氣乙烯(PVC)、聚酯(PET)等,其表面特性因分子結(jié)構(gòu)基材的極性基團,結(jié)晶程度和塑料的化學穩(wěn)定性等不同而有很大的差異,這些因素對印刷油墨層的粘附牢度影響很大。對屬于極性結(jié)構(gòu)的PS(聚苯乙烯)、PVC,印刷前不雪要做表面預處理,但對于其表面結(jié)構(gòu)是非極性的PP、PE、PET等,其化學穩(wěn)定性極高,不易被大多數(shù)油墨溶劑所滲透和溶解,與油墨印刷的結(jié)合牢度很低,所以在印刷之前必須經(jīng)過等離子體表面處理,使塑料表層活化生成新的化學鍵使表面粗化,從而提高油墨與塑料表面的結(jié)合粘附牢度;同時制造某些粒料過程中,按不同要求摻入了一定數(shù)量的助劑,附加劑,下開口劑,當吸膜定型后,這些助劑就浮在材料表面,形成肉眼看不見油層,這些油層對印刷是完全不利的,它使塑料表面不易粘合,附著力下降,當?shù)入x子體與塑料表面相遇時,產(chǎn)生了清潔、活化、刻蝕作用,表面得到了清潔,去除了碳化氫類污物,如油脂、輔助添加劑等,根據(jù)材料成分,其表面分子鏈結(jié)構(gòu)得到了改變。建立了羥基、羧基等自由基團,這些基團對各種涂敷材料具有促進其粘合的作用,在粘合和油漆應用時得到了優(yōu)化。山西國產(chǎn)等離子清洗機生產(chǎn)企業(yè)