隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體封裝技術(shù)也在不斷創(chuàng)新和改進(jìn),以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術(shù)作為一種高效、環(huán)保的解決方案,能夠滿足先進(jìn)半導(dǎo)體封裝的要求,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來(lái)的單個(gè)芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個(gè)穩(wěn)定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機(jī)械連接。常用的方法有樹脂粘結(jié)、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點(diǎn)膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結(jié)度。因此,在DB工藝前,需要進(jìn)行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點(diǎn)膠質(zhì)量的同時(shí)可以節(jié)省銀膠使用量,降低成本。適用于去除表面有機(jī)污染物、油污和微小顆粒。吉林plasma等離子清洗機(jī)工作原理是什么
大氣射流等離子清洗機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,安裝方便,可對(duì)塑料、橡膠、金屬、玻璃、陶瓷、紙質(zhì)等材料進(jìn)行表面處理,已經(jīng)廣泛應(yīng)用于印刷、包裝、電子、汽車等行業(yè)。大氣射流等離子清洗機(jī)分為大氣射流直噴式等離子清洗機(jī)和大氣射流旋轉(zhuǎn)式等離子清洗機(jī)。大氣射流直噴式等離子清洗機(jī)射出的等離子體能量集中,溫度偏高,比較適合處理點(diǎn)狀和線狀,對(duì)溫度不是非常敏感的材料表面,根據(jù)其噴頭大小可以處理的寬度為2-15mm。大氣射流旋轉(zhuǎn)式等離子清洗機(jī)射出的等離子體比較分散,溫度適中,比較適合處理面狀,對(duì)溫度有點(diǎn)敏感的材料表面,根據(jù)其旋轉(zhuǎn)噴頭大小可以處理的寬度為20-90mm。吉林plasma等離子清洗機(jī)工作原理是什么在汽車工業(yè),用于處理橡膠密封件、傳感器等。

在芯片封裝技術(shù)中,等離子體清洗已成為提高成品率的必由之路。先進(jìn)的倒裝芯片設(shè)備在市場(chǎng)上越來(lái)越突出,微波等離子體工藝在穿透模具下面的微小間隙方面。所有表面,無(wú)論模具下的體積大小,都被完全調(diào)節(jié)。達(dá)因特生產(chǎn)的等離子體清洗機(jī)都能很好的處理,提供粘合性和顯著提高的粘附速度。適用范圍遠(yuǎn)遠(yuǎn)超出20x20毫米和50微米凸起的模具尺寸。用于顯示器制造的大型基板的均勻等離子體清洗需要一個(gè)可擴(kuò)展的系統(tǒng)概念。等離子體系統(tǒng)正是為這類應(yīng)用而設(shè)計(jì)的,能夠提供快速、均勻的清洗或剝離效果。等離子體過程得益于高的自由基濃度和等離子體密度以及低的過程誘導(dǎo)加熱。良好的均勻性對(duì)于在單個(gè)基板上保持良好的過程控制以及運(yùn)行到運(yùn)行的重復(fù)性至關(guān)重要。
等離子體表面處理機(jī)也叫等離子清洗機(jī)、等離子表面處理機(jī)、plasma清洗機(jī);用戶對(duì)它的稱呼非常多,它實(shí)際功能在于對(duì)物體表面處理,清洗、改性、刻蝕等;解決用戶不同的表面處理需求。表面活化:設(shè)備生產(chǎn)的等離子體內(nèi)有大量離子、激發(fā)態(tài)分子、自由基等多種活性粒子,通過物理及化學(xué)反應(yīng),將表面污染物、雜質(zhì)處理,達(dá)到表面清洗的作用;表面改性:等離子體與物體表面發(fā)生反應(yīng),使得物體表面的化學(xué)鍵斷裂,等離子體中的自由基反應(yīng)生產(chǎn)新鍵,提高表面活性,有利于粘接、涂覆等工藝。表面刻蝕:通入腐蝕性氣體進(jìn)行等離子體反應(yīng)時(shí),氣體與物體表面反應(yīng)生產(chǎn)揮發(fā)性物質(zhì),通過真空泵抽離,在表面形成需要的圖案、形狀,完成刻蝕效果。大氣等離子適用于各種平面材料的表面清洗活化,可搭配直噴或旋轉(zhuǎn)噴頭。

芯片在引線框架基板上粘貼后,要經(jīng)過高溫使之固化。如果芯片表面存在污染物,就會(huì)影響引線與芯片及基板間的焊接效果,使鍵合不完全或粘附性差、強(qiáng)度低。在WB工藝前使用等離子處理,可以顯著提高其表面附著力,從而提高鍵合強(qiáng)度及鍵合引線的拉力均勻性,提升WB工藝質(zhì)量。在FlipChip(FC)倒裝工藝中,將稱為“焊球(SolderBall)”的小凸塊附著在芯片焊盤上。其次,將芯片頂面朝下放置在基板上,完成芯片與基板的連接后,通常需要在在芯片與基板之間使用填充膠進(jìn)行加固,以提高倒裝工藝的穩(wěn)定性。通過等離子清洗可以改善芯片和基板表面潤(rùn)濕性,提高其表面附著力,進(jìn)而影響底部填充膠的流動(dòng)性,使填充膠可以更好地與基板和芯片粘結(jié),從而達(dá)到加固的目的,提高倒裝工藝可靠性。使用大腔體真空等離子可高效、均勻進(jìn)行表面活化處理,提高潤(rùn)濕性,從而提高粘接強(qiáng)度。天津低溫等離子清洗機(jī)售后服務(wù)
常溫等離子表面處理機(jī)能夠用于材料的表面清洗、活化、改性等工藝中,處理金屬、陶瓷、塑料等類型的材料。吉林plasma等離子清洗機(jī)工作原理是什么
等離子表面處理機(jī)是利用等離子體在表面形成的化學(xué)反應(yīng)來(lái)改變物體表面性質(zhì)的一種設(shè)備。其基本原理是利用等離子體的高能量來(lái)激發(fā)表面原子或分子,使其發(fā)生化學(xué)反應(yīng),從而改變表面的物理、化學(xué)性質(zhì)。等離子體可由高頻電源產(chǎn)生,通過電極產(chǎn)生強(qiáng)電場(chǎng),使氣體離子化形成等離子體。等離子表面處理機(jī)在燃料電池領(lǐng)域的前景等離子表面處理技術(shù)具有精度高、控制性好、效率高等優(yōu)點(diǎn),在燃料電池領(lǐng)域有著廣闊的應(yīng)用前景。未來(lái),等離子表面處理機(jī)將成為燃料電池制備中的重要工具之一,為燃料電池的商業(yè)化應(yīng)用提供支持。同時(shí),隨著等離子表面處理技術(shù)的不斷發(fā)展,其在燃料電池領(lǐng)域的應(yīng)用也將不斷拓展,為燃料電池的性能提升和成本降低提供更多的可能性。吉林plasma等離子清洗機(jī)工作原理是什么