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  • 氣氛爐基本參數(shù)
    • 產地
    • 安徽合肥
    • 品牌
    • 合肥真萍電子科技有限公司
    • 型號
    • 多種型號
    • 是否定制
    氣氛爐企業(yè)商機

    下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設計。一、產品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設備配套使用的爐體,爐內抽真空,被處理工件放置在爐膛內,采用清洗氣體加熱反應方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質量的目的。二、設計特點1.后門設計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內產生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質將隔熱層內與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的氣氛爐生產廠家哪家好?合肥真萍科技告訴您。熱風排膠氣氛爐廠家直供

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    密封性為了控制爐內的氣氛,維持爐內的壓力,爐內工作空間始終要與外界空氣隔絕,盡量避免漏氣和吸入空氣,故要求爐殼,砌體,爐門及所有外界連接零件如風扇,熱電偶,輻射管,推拉料機等采用密封裝置;加熱方法為了保證氣氛的穩(wěn)定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環(huán)爐內氣氛的穩(wěn)定。防爆裝置還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。熱風排膠氣氛爐廠家直供氣氛爐對如今市場的影響。

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    各種氣氛爐的密封性要求高,裝,出料操作過程復雜,要求一臺爐子多用,大批量生產時,多組成大型聯(lián)合熱處理或者兩用以上的機組,因而要求有較高的機械化,自動化程度,為了保證氣氛的穩(wěn)定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環(huán)爐內氣氛的穩(wěn)定。還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。

    下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側加熱使的HMDS液進入箱體內不能完本轉成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。氣氛爐的原材料要求是什么?合肥真萍科技告訴您。

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    真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術條件及中國相關標準研究制造的,被廣泛應用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的技術指標。1.無塵等級:Class100:(符合FED-STD209E標準:0.3um≤300個0.5≤100個)2.溫度范圍:+60℃~+250℃(極限溫度350℃)3.溫度均勻性:±2℃(空箱測試)4.溫度精確度:±1℃(空箱測試)5.設備型號規(guī)格:450*450*450;450*600*450;600*800*600;600*700*600;700*900*700;700*1000*700;800*1000*800;800*1200*800;1000*1200*1000;1000*1300*1000;1000*1400*1000;合肥真萍科技為您提供氣氛爐相關專業(yè)解答。揚州氣氛爐供應商家

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    連續(xù)爐即是連續(xù)作業(yè)爐,是指連續(xù)地或間歇地裝料,工件在爐內不斷移動,完成加熱、保溫,有時包括冷卻在內全過程的熱處理爐。連續(xù)作業(yè)爐可借助某些機械機構連續(xù)地或間歇地進行裝料和出料,連續(xù)順序地通過按零件處理工藝要求的不同溫度區(qū)完成加熱過程。使用連續(xù)作業(yè)爐可提高產品質量,提高勞動生產率和改善勞動條件。下面為大家介紹一下連續(xù)爐的產品材質和產品特點。一、產品材質1.外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼;2.保護裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護斷路器、電機過載保護。二、產品特點1.雙邊配有鏈條傳動,解決傳送過程中跑偏的現(xiàn)象;2.烘箱分段式加熱,單獨電箱控制,方便操作,結構主要由輸送機系統(tǒng)與烘干爐兩大部分組成,多段單獨;3.PID溫度控制,爐內溫度均勻;4.輸送速度變頻調速,調節(jié)自如,運行平穩(wěn),產能高;5.每段單獨箱體設置廢氣排放接口,可外接到車間外面,避免車間廢氣污染。熱風排膠氣氛爐廠家直供

    合肥真萍電子科技有限公司,是安徽旭騰微電子設備有限公司全資子公司,總部位于合肥經(jīng)開區(qū)天都路4345號真萍科技產業(yè)園,是一家專注于熱(+30~1600℃)、真空(1~1*10-6torr)、高壓(10MPa)等設備的半導體裝備行業(yè)技術企業(yè)。技術團隊主要由一批多年從事熱工、流體、結構、半導體等行業(yè)的專業(yè)工程技術人員組成,現(xiàn)有研發(fā)人員40余人,均為本科及以上學歷。通過ISO9001質量體系認證。目前,自有廠房面積約32000平米,潔凈車間約2000平米,是具有設計、制造、銷售及售后服務能力的綜合性企業(yè)。2022年,引入戰(zhàn)略投資公司入股真萍科技母公司安徽旭騰微電子設備有限公司,融資融智,加速推進公司產品技術研發(fā)進程,助力完善半導體裝備產業(yè)鏈拼圖。初創(chuàng)期設備從以單機、自動化程度不高的加熱/真空高潔凈度的半導體設備為基礎,不斷向高集成自動化、滿足復雜制成工藝的立式爐、真空焊接爐發(fā)展,現(xiàn)已成為多家**研究中心以及集成電路生產優(yōu)先專業(yè)設備供應商。

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