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  • 氣氛爐基本參數(shù)
    • 產(chǎn)地
    • 安徽合肥
    • 品牌
    • 合肥真萍電子科技有限公司
    • 型號
    • 多種型號
    • 是否定制
    氣氛爐企業(yè)商機

    本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。氣氛爐怎么選?合肥真萍科技告訴您。福建氣氛爐廠家直銷價格

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    下面為大家介紹一下高溫鐘罩爐的各項系統(tǒng)。一、氣氛系統(tǒng)。1.爐膛氣氛:2路空氣,流量計量程為7~70L/min,每路流量可調(diào)節(jié);2.排氣系統(tǒng):在爐膛頂部設(shè)置一個排氣囪,用于廢氣排放。二、傳動系統(tǒng)1.傳動方式:升降式2.傳動類型:電動推桿傳動3.容積:20L三、冷卻系統(tǒng)1.冷卻結(jié)構(gòu):無2.產(chǎn)品降溫:隨爐降溫四、安全保護1.升、降、停按鈕:載料臺的升、降、??刂?.報警指示:超溫、斷偶、過載、超程、偏差等聲光報警3.設(shè)備安全升溫速率≤5℃/min五、溫度控制系統(tǒng)1.溫度測量:采用B分度熱偶測量2.控制方式:高性能移相調(diào)壓+SCR晶閘管模塊控制2.1當測量溫度超過設(shè)定的安全值時,斷加熱,并報警2.2當測量溫度超過目標溫度達到限制偏差值時,報警3.控制儀表:采用進口智能調(diào)節(jié)儀控制。具有PID參數(shù)自整定、高溫上限報警、熱電偶失效指示等多項報警保護功能寧波熱風(fēng)排膠氣氛爐氣氛爐的生產(chǎn)廠家名錄。

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    各種氣氛爐的密封性要求高,裝,出料操作過程復(fù)雜,要求一臺爐子多用,大批量生產(chǎn)時,多組成大型聯(lián)合熱處理或者兩用以上的機組,因而要求有較高的機械化,自動化程度,為了保證氣氛的穩(wěn)定性,氣氛爐可分為馬弗爐和無馬弗爐兩種,馬弗爐的火焰在馬弗外,工件在馬弗內(nèi)進行間接加熱;無馬弗爐采用各種火焰輻射管或者電輻射管,將火焰或者電熱體與爐氣隔開,以免破環(huán)爐內(nèi)氣氛的穩(wěn)定。還原氣體和空氣混合達到一定混合比,在一定溫度下易引起,故對爐子的前,后室,淬火室以及緩冷室等均設(shè)有防爆裝置,爐子供氣和排氣的控制系統(tǒng)也要有防爆措施。

    電熱鼓風(fēng)烤箱適用于各種產(chǎn)品或材料及電氣、儀表、元器件、電子、電工及汽車、航空、通訊塑膠、機械、食品、化工、化學(xué)品、五金工具等在恒溫環(huán)境條件下做干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗。下面為大家介紹一下真萍科技電熱鼓風(fēng)烤箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.工作室與外箱之間的保溫材質(zhì)是質(zhì)量超細玻璃纖維保溫棉,保溫厚度:>70mm,隔溫效果好,國內(nèi)高性能的絕緣結(jié)構(gòu)。從內(nèi)到外有內(nèi)腔、外殼、超細玻璃纖維、鋁制反射鋁箔片、空氣夾層,內(nèi)膽熱量損失少。內(nèi)膽外箱及門膽結(jié)構(gòu)獨特,極大減少了內(nèi)腔熱量的外傳。2.門與門框之間采用高性能密封材料及獨特的橡膠密封結(jié)構(gòu),密封、耐高溫性、抗老化性好。3.箱內(nèi)風(fēng)道采用雙循環(huán)系統(tǒng),不銹鋼多翼式離心風(fēng)輪及循環(huán)風(fēng)道組成,置于箱體背部的電加熱器熱量通過側(cè)面風(fēng)道向前排出,經(jīng)過干燥物后再被背部的離心風(fēng)輪吸入,形成合理的風(fēng)道,能使熱氣充分對流,使箱內(nèi)溫度相當大限度達到均勻。提高了空氣流量加熱的能力,大幅改善了干燥箱的溫度均勻性。4.加熱器用不銹鋼電加熱管,升溫快,壽命長。氣氛爐的特點是什么?合肥真萍告訴您。

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    下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1.后門設(shè)計熱風(fēng)電機2.降溫時風(fēng)機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的合肥真萍科技氣氛爐誠信經(jīng)營。鎮(zhèn)江氣氛爐供應(yīng)廠家

    氣氛爐的實用領(lǐng)域有哪些?福建氣氛爐廠家直銷價格

    超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標。1.工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2.溫度波動度:±1.0℃(空載);3.溫度偏差:常壓溫度試驗:常溫~200℃時±2℃200~300℃時±5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時±2.0℃,100℃~200℃時±5.0℃200℃~300℃時±7.0℃福建氣氛爐廠家直銷價格

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