下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯(lián)動保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒有啟動程序...
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的的測控系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。一、測控系統(tǒng)1.溫度控制裝置:日本進(jìn)口溫控器,內(nèi)置PID自動整定,斜率設(shè)定功能2.溫度控制方式為SSR固態(tài)繼電器功率調(diào)整輸出,溫度采集探頭為特制鎧裝K型熱電偶3.溫度監(jiān)控裝置:采用日本六通道巡回檢測有紙記錄儀,可將烤箱內(nèi)實時環(huán)境溫度進(jìn)行檢測打印。二、控制系統(tǒng)1.操作控制系統(tǒng),采用精密電子儀器儀表結(jié)合電力拖動系統(tǒng)控制,更快速,更穩(wěn)定。2.防護(hù)措施:緊急停止,超溫保護(hù),斷線報警,相序保護(hù),過載保護(hù),短路保護(hù),漏電保護(hù),及電磁門禁保護(hù)等。真萍科技為您提供定制各種尺寸存儲柜。連云港存儲柜供應(yīng)商家

下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機(jī)尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進(jìn)入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。江西存儲柜的工廠存儲柜找哪家比較安心?合肥真萍不錯。

超高真空烘箱廣泛應(yīng)用于航空、航天、電子、通訊等科研及生產(chǎn)單位。確定儀器儀表、電工產(chǎn)品、材料、零部件、設(shè)備等在低氣壓、高溫單項或同時作用下的環(huán)境適應(yīng)性與可靠性試驗。下面為大家介紹一下超高真空烘箱的主要技術(shù)指標(biāo)。1.工作室溫度范圍:常溫~+300℃用戶使用溫度260℃2.溫度波動度:1.0℃(空載);3.溫度偏差:常壓溫度試驗:常溫~200℃時2℃200~300℃時5.0℃低氣壓高溫綜合試驗:≤100℃時2.0℃,100℃~200℃時5.0℃200℃~300℃時7.0℃
真萍科技潔凈烘箱是參照GB/T11158-1989,GB2423,2-1989干燥箱技術(shù)條件及中國相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)研究制造,廣泛應(yīng)用于電子液晶顯示,LCD,CMOS,IC,醫(yī)藥實驗室等生產(chǎn)及科研部門。下面為大家介紹一下潔凈烘箱的箱體結(jié)構(gòu)。1.烘箱總體由箱體部分,電氣控制柜部分,電加熱部分,風(fēng)道部分,塵埃物過濾部分,N2進(jìn)氣排氣及風(fēng)冷部分等組裝而成,結(jié)構(gòu)合理,功能實用。2.外箱材料:外箱采用SS41#中碳鋼板經(jīng)磷酸皮膜鹽處理后兩層防光面涂裝烤漆可防止微塵。3.內(nèi)膽材料:采進(jìn)口SUS304#2mm不銹鋼板全周氬焊,并經(jīng)堿性蘇打水清潔有效的防止了機(jī)臺本身灰塵的產(chǎn)生。4.保溫材料:采用正廠玻璃纖維公司出品的100K級高密度保溫板填充,有效的防止了熱能浪費(fèi)。5.電熱部分:采用進(jìn)口覆套式電熱器(SHEATHEDHEATER)無塵無氧化電熱發(fā)生器。6.風(fēng)道部分:整體結(jié)構(gòu)采用了水平送風(fēng)的方式由左向右送風(fēng)后經(jīng)美國進(jìn)口H.E.P.A,(特殊風(fēng)道設(shè)計)過濾效果可達(dá)99.99%,Class100。合肥真萍告訴您使用存儲柜的便捷性。

本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。合肥真萍與您分享存儲柜的重要性。新余可移動存儲柜
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真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤裰饕獞?yīng)用于解決晶圓片的潮濕、氧化及被其它氣體(ex阿摩利亞氣體)破壞,解決探針卡潮濕及氧化問題解決光罩的受潮問題---黃光部封裝的金線,解決液晶的受潮問題,解決線路板受潮問題。下面為大家簡單介紹一下真萍科技電腦式潔凈節(jié)能氮?dú)夤竦倪^濾系統(tǒng)。1.EBM電子式EC馬達(dá)控制無塵室FFU。2.鏡面不銹鋼結(jié)構(gòu)體。3.特殊導(dǎo)流風(fēng)道設(shè)計,風(fēng)壓平均,可有效提供風(fēng)量,降低噪音。4.電路板控制模塊,提供安全保護(hù)裝置,運(yùn)轉(zhuǎn)異常指示燈及控制干接點輸出。5.無段式風(fēng)量調(diào)速器可任意調(diào)整風(fēng)量大小。6.濾網(wǎng)ULPA,0.12μm,99.9995%以上的過濾效果。7.電力規(guī)格:單相220V50Hz0.95A,輸出功率150W。連云港存儲柜供應(yīng)商家
下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的技術(shù)指標(biāo)。1.HMDS管路加熱功能,使HMDS液體進(jìn)入箱體的前端管路加熱,使轉(zhuǎn)為HMDS氣態(tài)時更易。2.低液報警裝置,采用紅外液體感測器,能及時靈敏給出指令(當(dāng)HMDS液過低時發(fā)出報警及及時切斷工作起動功能)3.溫度與PLC聯(lián)動保護(hù)功能(當(dāng)PLC沒有啟動程序...
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