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  • 網(wǎng)帶爐基本參數(shù)
    • 產(chǎn)地
    • 安徽合肥
    • 品牌
    • 合肥真萍電子科技有限公司
    • 型號
    • 多種型號
    • 是否定制
    網(wǎng)帶爐企業(yè)商機

    下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的用途和設(shè)計。一、產(chǎn)品介紹真空烤盤爐是與MOCVD設(shè)備配套使用的爐體,爐內(nèi)抽真空,被處理工件放置在爐膛內(nèi),采用清洗氣體加熱反應(yīng)方式進行干式清洗(清洗氣體:N2,H2)。主要用于有效清洗除MOCVD承受器(SiC涂層石墨盤或石英盤)上的氮化鎵和氮化鋁等,可達到有效清潔處理,提高制品質(zhì)量的目的。二、設(shè)計特點1.后門設(shè)計熱風電機2.降溫時風機開啟,同時兩端降溫封頭開啟,爐膛內(nèi)產(chǎn)生如圖所示的氣體流向3.通過氣體介質(zhì)將隔熱層內(nèi)與水冷壁之間進行熱交換,達到快速降溫的目的。網(wǎng)帶爐的發(fā)展趨勢如何?浙江復合網(wǎng)帶爐批發(fā)

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