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      氣氛爐基本參數(shù)
      • 產(chǎn)地
      • 安徽合肥
      • 品牌
      • 合肥真萍電子科技有限公司
      • 型號
      • 多種型號
      • 是否定制
      氣氛爐企業(yè)商機

      本篇介紹專業(yè)全自動HMDS真空烤箱,首先簡單介紹一下HMDS預(yù)處理系統(tǒng)的必要性:在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中,光刻是集成電路圖形轉(zhuǎn)移重要的一個工藝環(huán)節(jié),涂膠質(zhì)量直接影響到光刻的質(zhì)量,涂膠工藝也顯得尤為重要。光刻涂膠工藝中絕大多數(shù)光刻膠是疏水的,而硅片表面的羥基和殘留的水分子是親水的,這造成光刻膠和硅片的黏合性較差,尤其是正膠,顯影時顯影液會侵入光刻膠和硅片的連接處,容易造成漂條、浮膠等,導(dǎo)致光刻圖形轉(zhuǎn)移的失敗,同時濕法腐蝕容易發(fā)生側(cè)向腐蝕。增黏劑HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善這種狀況。將HMDS涂到硅片表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷?,其疏水基可很好地與光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。氣氛爐的原材料要求是什么?合肥真萍科技告訴您。哪里有氣氛爐生產(chǎn)廠商

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      隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。作為隧道爐的優(yōu)良供應(yīng)商原產(chǎn)廠家,小編下面就為大家介紹一下真萍科技隧道爐的產(chǎn)品材質(zhì)的構(gòu)成。1.外箱構(gòu)成。外箱采用1.5mm厚Q235冷軋鋼板/內(nèi)箱采用1.5mm厚SUS304#不銹鋼2.系統(tǒng)裝置保護裝置定時報警斷電裝置、超溫斷電、漏電保護斷路器、電機過載保護。江蘇氣氛爐代理公司合肥真萍告訴您使用氣氛爐的便捷性。

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      下面為大家介紹一下全自動HMDS真空烤箱的整機尺寸、真空腔體尺寸。1.內(nèi)膽尺寸:650*650*650;450*450*450mm;300*300*300mm;2.載物托架:2塊3.室溫+10℃-250℃控溫范圍:溫度分辨率:0.1℃溫度波動度:0.5℃4.真空泵:油泵或無油真空泵。真空度:133pa,5.加熱方式:腔體下部及兩側(cè)加溫。加熱器為外置加熱板(防止一側(cè)加熱使的HMDS液進入箱體內(nèi)不能完本轉(zhuǎn)成氣態(tài))6.可放2寸晶圓片或4寸晶圓片;6寸晶圓片;8寸晶圓片等。7.開箱溫度可以由user自行設(shè)定來降低process時間(正常工藝在50分鐘-120分鐘(按產(chǎn)品所需而定烘烤時間),為正常工作周期不含降溫時間(因降溫時間為常規(guī)降溫)。

      下面為大家介紹一下石墨盤真空烤盤爐的技術(shù)指標(biāo)。1.使用溫度:1450℃;比較高溫度:1500℃;2.絕熱材料:石墨纖維毯、石墨紙;3.加熱元件:石墨加熱棒;4.冷卻方式:氣冷+循環(huán)風(fēng)冷降溫;5.控溫穩(wěn)定度:2℃,具有PID參數(shù)自整定功能;6.爐膛溫度均勻度:5℃(恒溫1500℃);7.氣氛:可向爐膛內(nèi)通入干燥、潔凈、無油的高純度氮氣,純度≥99.999%;8.極限真空:10-3torr級;9.抽氣速率:空載下,30min達到10-2torr10.升溫功率:170kW;11.升溫速率:15℃/min(空載);12.降溫速率:1450℃至80℃,240分鐘13.腔體尺寸:1000*1000*1000mm(寬*深*高)氣氛爐的運作原理是什么?

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      隧道爐適用于五金模具、航天航空、納米材料、精密陶瓷、粉末治金、鐵氟龍噴涂、五金、鋰電池、化工、運動器材、汽車零配件、電機、化工、工業(yè)之烘烤、干燥、預(yù)熱回火、退火、老化等用途。下面為大家介紹一下真萍科技隧道爐的技術(shù)參數(shù)。1.送風(fēng)方式:強制送風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)。2.溫度范圍:RT+10℃~300℃。3.溫度精度:±1℃4.溫度均勻性:±1℃5.溫控裝置:富士智能PID溫控儀,LED數(shù)字顯示,PID自動演算及定時。6.材質(zhì):內(nèi)膽不銹鋼,外箱體鋼板靜電噴塑。7.傳送方式:鏈桿、鏈網(wǎng)、自動錕輪,相當(dāng)強承重。8.特制復(fù)合式電加熱器。9.保護裝置:漏電保護、斷路保護、電機過載保護、接地保護、非正常運行情況下蜂鳴報警。合肥真萍告訴您如何正確使用氣氛爐?常州氣氛爐銷售價格

      合肥真萍科技氣氛爐的運用領(lǐng)域。哪里有氣氛爐生產(chǎn)廠商

      恒溫恒濕箱試驗箱是航空、汽車、家電、科研等領(lǐng)域必備的檢測設(shè)備,用于測試電子、電工及其它產(chǎn)品及材料進行高溫、低溫、交變濕熱度或恒定試驗的溫度環(huán)境變化參數(shù)及性能。該系列產(chǎn)品適用于航空航天產(chǎn)品、信息電子儀器儀表、材料、電工、電子產(chǎn)品、各種電子元氣件在高低溫或濕熱環(huán)境下、檢驗其各項性能指標(biāo)。下面為大家介紹一下真萍科技的恒溫恒濕試驗箱的控制特點。試驗箱的控制系統(tǒng)可說是整個設(shè)備的心臟,掌管著制冷、制熱、控濕、循環(huán)、控制等大權(quán)。在制冷方面,壓縮機是采用德國進口的壓縮機。制冷系統(tǒng)由高溫部分和低溫部分組成,每一部分是一個相對單獨的制冷系統(tǒng)。高溫部分中制冷劑的蒸發(fā)吸收來自低溫部分的制冷劑的熱量而汽化;低溫部分制冷劑的蒸發(fā)則從被冷卻的對象(試驗機內(nèi)的空氣)吸熱以獲取冷量。高溫部分和低溫部分之間是用一個蒸發(fā)冷凝器聯(lián)系起來,它既是高溫部分的冷凝器,也是低溫部分的冷凝器。加熱系統(tǒng)采用完全單獨的鎳鉻合金電加熱式,電阻率大、電阻溫度系數(shù)小,在高溫下變形小且不易脆化,自身加熱溫度可達1000~1500℃,使用壽命長。哪里有氣氛爐生產(chǎn)廠商

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