深圳爪式真空泵

對(duì)真空泵的工作蒸汽及其干度的研究：蒸汽壓力偏低及壓力波動(dòng)均對(duì)真空泵的能力有較大影響，因此蒸汽壓力不應(yīng)低于要求的工作壓力，但所用真空泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)已定型，過(guò)多提高蒸汽壓力并不會(huì)增加抽氣量及真空度。另外，要確保鍋爐供給的蒸汽壓力穩(wěn)定，建議用一臺(tái)鍋爐專(zhuān)門(mén)給蒸汽噴射泵提供工作蒸汽，這樣蒸汽壓力就不會(huì)出現(xiàn)波動(dòng)，真空泵性能穩(wěn)定。對(duì)循環(huán)冷卻水要求的研究：冷卻水供量不足，冷凝器會(huì)發(fā)熱，氣流聲音變大，真空度迅速下降，甚至蒸汽會(huì)返入抽氣管。真空泵必須具有前級(jí)泵配合，方可使用在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速。深圳爪式真空泵

歐美半導(dǎo)體行業(yè)45％以上用干式真空泵代替了油封式機(jī)械泵，提高了產(chǎn)品的性能和質(zhì)量。為了滿(mǎn)足不同應(yīng)用領(lǐng)域和不同工況的要求，國(guó)外有多級(jí)羅茨真空泵、多級(jí)爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復(fù)式活塞真空泵以及渦輪式無(wú)油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速?gòu)?0m3/h～500m3/h。據(jù)統(tǒng)計(jì)，目前國(guó)產(chǎn)干泵的應(yīng)用還不足1％，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體工業(yè)用的干泵全部從國(guó)外進(jìn)口，其價(jià)格十分昂貴。所以，我國(guó)應(yīng)大力研究開(kāi)發(fā)干泵，使干泵成為我國(guó)真空工業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。深圳爪式真空泵臥式真空泵的進(jìn)氣口在上，排氣口在下。

微型真空泵的介質(zhì)溫度問(wèn)題。根據(jù)通過(guò)泵的介質(zhì)氣體的溫度，選擇要普通型的還是要高溫型的。微型泵的可靠性問(wèn)題。根據(jù)微型泵出故障后產(chǎn)生后果的嚴(yán)重性而定，完全根據(jù)自己的要求。好的品的平均無(wú)故障連續(xù)運(yùn)行時(shí)間都大于1000小時(shí)，有的高到數(shù)千小時(shí)。特別注意，這項(xiàng)參數(shù)是在滿(mǎn)負(fù)荷、不間斷的運(yùn)行狀態(tài)下測(cè)定的，是比較惡劣的工況，如果實(shí)際使用不是滿(mǎn)載或連續(xù)運(yùn)行，該數(shù)值會(huì)高一些，高多少視泵的工況而定。該性能完全是考驗(yàn)制造商的技術(shù)實(shí)力，從產(chǎn)品外觀上可以看出一些，如采用特制電機(jī)而非普通低價(jià)電機(jī)、體積相當(dāng)?shù)那闆r下重量較重等。根據(jù)產(chǎn)品價(jià)格也可略知一二。微型泵的電磁干擾問(wèn)題。如果有精密電路控制微型泵，視電路抗干擾能力而定，可能需要訂購(gòu)低電磁干擾的微型泵。

簡(jiǎn)化高真空機(jī)組，取消羅茨泵是分子增壓泵的又一個(gè)優(yōu)勢(shì)。對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間，由于預(yù)抽時(shí)間與整個(gè)排氣過(guò)程相比很短，所以前級(jí)泵的使用時(shí)間也很短，因此可以兼作多套設(shè)備的預(yù)抽作用，而這往往是非常現(xiàn)實(shí)的。這就使規(guī)模化應(yīng)用的真空機(jī)組得到的簡(jiǎn)化。在某些中真空應(yīng)用中，需要進(jìn)入10-1Pa范圍，這對(duì)羅茨泵的二級(jí)機(jī)組往往難于實(shí)現(xiàn)，而使用二級(jí)羅茨泵串接的三級(jí)機(jī)組可使真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)而進(jìn)入10-1Pa，所以中真空應(yīng)用也常用三級(jí)機(jī)組。高真空機(jī)組往往需要三級(jí)機(jī)組的另一個(gè)原因歸結(jié)于高真空泵的吸入壓力的限制。

在真空泵中，相對(duì)壓強(qiáng)即所測(cè)內(nèi)部壓強(qiáng)比“大氣壓”低多少壓強(qiáng)，表示出系統(tǒng)壓強(qiáng)實(shí)際數(shù)值低于大氣壓強(qiáng)的數(shù)值。由于容器內(nèi)部空氣被抽，因此，內(nèi)部的壓強(qiáng)始終低于容器外部壓強(qiáng)。所以當(dāng)用相對(duì)壓強(qiáng)或者表壓強(qiáng)表示的時(shí)候，數(shù)值前面必須帶負(fù)號(hào)，表示容器內(nèi)部壓強(qiáng)比外部壓強(qiáng)低。極限壓強(qiáng)，壓強(qiáng)即所測(cè)內(nèi)部壓強(qiáng)比”理論真空(理論真空壓強(qiáng)值為0Pa)”高多少壓強(qiáng)。它所比較的對(duì)象為理論狀態(tài)的真空壓強(qiáng)值。由于工藝所限，我們無(wú)論如何都不能將內(nèi)部壓強(qiáng)抽到真空0Pa這個(gè)數(shù)值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當(dāng)用真空表示時(shí)，數(shù)值前面無(wú)負(fù)號(hào)。真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。深圳爪式真空泵

對(duì)于較大型的高真空應(yīng)用設(shè)備，也可適當(dāng)加強(qiáng)前級(jí)泵的預(yù)抽能力，進(jìn)一步縮短抽氣時(shí)間。深圳爪式真空泵

真空泵中的折疊羅茨泵，從國(guó)外羅茨泵生產(chǎn)情況來(lái)看，國(guó)外幾家大公司他們各家羅茨泵的銷(xiāo)售額占全球羅茨泵銷(xiāo)售額的比例都沒(méi)超過(guò)5%，這5家總計(jì)才20%，羅茨泵產(chǎn)量不大，但國(guó)外羅茨泵羅茨泵工作原理的價(jià)格遠(yuǎn)比國(guó)產(chǎn)泵要高得多。國(guó)內(nèi)外幾乎所有大型或小型的高真空和中真空系統(tǒng)，為了縮短抽氣時(shí)間、提高生產(chǎn)效率都配有羅茨泵，所以國(guó)產(chǎn)羅茨泵一定要在占領(lǐng)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)基礎(chǔ)上設(shè)法進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)，這樣就必須進(jìn)一步降低國(guó)產(chǎn)羅茨泵的振動(dòng)噪聲，徹底解決軸封漏油問(wèn)題，改進(jìn)泵的外觀質(zhì)量，提高泵內(nèi)的光潔度和清潔度。深圳爪式真空泵