精密定位平臺(tái)(又稱電動(dòng)滑臺(tái)、精密定位滑臺(tái))是一種高精度工業(yè)定位設(shè)備,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、液晶面板加工、微電子晶圓處理及自動(dòng)化檢測(cè)等領(lǐng)域。其通過集成滾珠螺桿、直線導(dǎo)軌等**組件實(shí)現(xiàn)亞微米至納米級(jí)重復(fù)精度(≤100nm),支持垂直/水平多方向定位及真空環(huán)境作業(yè) [6]。該平臺(tái)采用模塊化設(shè)計(jì),融合有限元優(yōu)化結(jié)構(gòu)與多軸聯(lián)動(dòng)控制技術(shù),包含X/Y/Z軸直線驅(qū)動(dòng)、旋轉(zhuǎn)對(duì)位等多自由度運(yùn)動(dòng)系統(tǒng)。部分型號(hào)采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)或宏微雙驅(qū)動(dòng)方案,結(jié)合柔性鉸鏈、預(yù)載絲杠等技術(shù)提升剛性與穩(wěn)定性 [4-5]。典型結(jié)構(gòu)通過分層布局、一體化加工工藝實(shí)現(xiàn)緊湊體積(最大負(fù)載10kg),并配備雙光柵閉環(huán)檢測(cè)、氣動(dòng)夾具等輔助系統(tǒng) [3] [7]。其維護(hù)便捷性體現(xiàn)在防塵潤(rùn)滑設(shè)計(jì)、可拆卸組件及無(wú)摩擦傳動(dòng)結(jié)構(gòu),適用于視覺檢測(cè)、高速點(diǎn)膠、曲面玻璃定位等高精度工業(yè)場(chǎng)景 [1-2] [8]結(jié)構(gòu):由導(dǎo)軌系統(tǒng)、滑塊、電機(jī)和傳感器組成。姑蘇區(qū)品牌精密平臺(tái)銷售廠

花崗巖平臺(tái)|大理石平臺(tái)產(chǎn)品介紹:花崗石平臺(tái):是用天然的石質(zhì)材料制成的精密基準(zhǔn)測(cè)量工具,花崗石平臺(tái)對(duì)儀器儀表、精密工具、機(jī)械制件的檢驗(yàn),都是理想的基準(zhǔn)面,特別是用于高精度的測(cè)量方面?;◢徥脚_(tái):取材于地下質(zhì)量的巖石層,經(jīng)過億萬(wàn)年自然時(shí)效,形態(tài)極為穩(wěn)定,不用擔(dān)心因常規(guī)的溫差而發(fā)生變形。花崗石平臺(tái)經(jīng)嚴(yán)格物理試驗(yàn)和選擇的花崗石料,結(jié)晶細(xì)密,質(zhì)地堅(jiān)硬。由于花崗石系非金屬材料,絕無(wú)磁性反應(yīng),亦無(wú)塑性變形?;◢徥脚_(tái)其硬度高,因此精度保持性好。常熟節(jié)能精密平臺(tái)性價(jià)比特點(diǎn):極高精度、極低振動(dòng)、極高穩(wěn)定性。

XYZ平臺(tái)主要包括X軸移動(dòng)部分,Y軸移動(dòng)部分,Z軸移動(dòng)部分。其結(jié)構(gòu)如圖1所示。各軸的聯(lián)軸器可用于連接伺服電機(jī),實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié),也可以直接和旋轉(zhuǎn)圓盤連接實(shí)現(xiàn)手動(dòng)調(diào)節(jié)。三坐標(biāo)精密移動(dòng)平臺(tái)的X、Y、Z三個(gè)方向的部件具有相同結(jié)構(gòu),都包括各自的傳動(dòng)系統(tǒng)、導(dǎo)向系統(tǒng)、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)、基于容柵傳感器的數(shù)顯位移測(cè)量系統(tǒng)以及相應(yīng)的支撐部件。平臺(tái)在X、Y、Z三個(gè)方向的結(jié)構(gòu)安排采用下述方案,即以X向的底板固定在基座上,Y向的底板固定在X向的移動(dòng)拖板上,Z向的底板通過角鐵與Y向的拖板固定。測(cè)量探針可以通過支架安裝在2向的拖板上,由Z向的拖板的上下運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)探針曠Z向移動(dòng)。整個(gè)Z向的部件安裝在Y向的拖板上,所以Y向的拖板能夠?qū)崿F(xiàn)探針的Y向移動(dòng)。同樣,平臺(tái)也能夠?qū)崿F(xiàn)探針的X向移動(dòng)。
結(jié)構(gòu):采用柔性結(jié)構(gòu)或彎曲機(jī)構(gòu)。應(yīng)用:生物醫(yī)學(xué)(如操控細(xì)胞或組織)、納米技術(shù)等領(lǐng)域。特點(diǎn):高度柔性、高精度、可變形。超高精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)功能:滿足更高精度和穩(wěn)定性的需求。結(jié)構(gòu):采用先進(jìn)的控制算法和傳感器技術(shù)。應(yīng)用:精密光學(xué)、半導(dǎo)體制造、精密測(cè)量等領(lǐng)域。特點(diǎn):極高精度、極低振動(dòng)、極高穩(wěn)定性。二、精密平臺(tái)的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)**組件驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):包括滾珠螺桿、直線導(dǎo)軌、電機(jī)(如壓電陶瓷驅(qū)動(dòng))等,實(shí)現(xiàn)微米甚至納米級(jí)移動(dòng)精度。結(jié)構(gòu):由多組直線或旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)平臺(tái)組合而成,通過控制系統(tǒng)協(xié)調(diào)運(yùn)動(dòng)。

對(duì)稱雙線圈布局:驅(qū)動(dòng)源內(nèi)置磁鐵平面與對(duì)稱式雙線圈結(jié)構(gòu),線圈沿運(yùn)動(dòng)方向分布并均勻設(shè)置于導(dǎo)向部件剛度中心 [2]立式反饋裝置:反饋元件垂直安裝于剛度中心,動(dòng)態(tài)干擾降低90%以上 [2]懸置底座系統(tǒng):第二底座通過導(dǎo)向部件懸掛于***底座凹槽,消除連接件形變影響 [2]采用集成化直線電機(jī)架構(gòu),通過磁鐵陣列直接驅(qū)動(dòng)移動(dòng)機(jī)構(gòu)。該設(shè)計(jì)使平臺(tái)加速度提升至常規(guī)氣浮平臺(tái)的3倍,實(shí)現(xiàn)200Hz以上的高頻響應(yīng)特性 [2]。光柵尺直接反饋系統(tǒng)可實(shí)時(shí)修正位移偏差,配合自動(dòng)鎖緊功能確保定位穩(wěn)定性 [1]。細(xì)胞操控平臺(tái):利用柔性結(jié)構(gòu)微調(diào)生物樣本位置,支持顯微操作。太倉(cāng)智能化精密平臺(tái)銷售廠
模塊化設(shè)計(jì):支持多軸聯(lián)動(dòng)控制,便于集成和擴(kuò)展。姑蘇區(qū)品牌精密平臺(tái)銷售廠
XYZ高精密移動(dòng)平臺(tái)(XYZ high precision mobile platform),又稱三坐標(biāo)高精密移動(dòng)平臺(tái),是一種三坐標(biāo)精密定位設(shè)備,主要應(yīng)用于微型渦輪噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)實(shí)驗(yàn)、電主軸與測(cè)功機(jī)同軸度測(cè)量等工程技術(shù)領(lǐng)域。該平臺(tái)由X軸、Y軸、Z軸移動(dòng)部分構(gòu)成,各軸通過聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)或旋轉(zhuǎn)圓盤實(shí)現(xiàn)自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié)。平臺(tái)采用三層疊加結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),X向底板固定于基座,Y向底板置于X軸拖板,Z向底板通過角鐵與Y軸拖板連接形成三維移動(dòng)體系。其傳動(dòng)系統(tǒng)采用M10滑動(dòng)絲桿副,具備自鎖性能且無(wú)需潤(rùn)滑,X方向滑動(dòng)絲桿副可滿足軸向和徑向剛度需求。該設(shè)備配備數(shù)顯位移測(cè)量系統(tǒng),可通過容柵傳感器實(shí)現(xiàn)位移精確定位。在電主軸與測(cè)功機(jī)同軸度測(cè)量中,配合尋邊器可將同軸度控制在0.02mm以內(nèi),但測(cè)量精度受平臺(tái)自身精度直接影響姑蘇區(qū)品牌精密平臺(tái)銷售廠
蘇州璨一機(jī)電科技有限公司匯集了大量的優(yōu)秀人才,集企業(yè)奇思,創(chuàng)經(jīng)濟(jì)奇跡,一群有夢(mèng)想有朝氣的團(tuán)隊(duì)不斷在前進(jìn)的道路上開創(chuàng)新天地,繪畫新藍(lán)圖,在江蘇省等地區(qū)的電工電氣中始終保持良好的信譽(yù),信奉著“爭(zhēng)取每一個(gè)客戶不容易,失去每一個(gè)用戶很簡(jiǎn)單”的理念,市場(chǎng)是企業(yè)的方向,質(zhì)量是企業(yè)的生命,在公司有效方針的領(lǐng)導(dǎo)下,全體上下,團(tuán)結(jié)一致,共同進(jìn)退,**協(xié)力把各方面工作做得更好,努力開創(chuàng)工作的新局面,公司的新高度,未來(lái)璨一供應(yīng)和您一起奔向更美好的未來(lái),即使現(xiàn)在有一點(diǎn)小小的成績(jī),也不足以驕傲,過去的種種都已成為昨日我們只有總結(jié)經(jīng)驗(yàn),才能繼續(xù)上路,讓我們一起點(diǎn)燃新的希望,放飛新的夢(mèng)想!
XYZ高精密移動(dòng)平臺(tái)(XYZ high precision mobile platform),又稱三坐標(biāo)高精密移動(dòng)平臺(tái),是一種三坐標(biāo)精密定位設(shè)備,主要應(yīng)用于微型渦輪噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)實(shí)驗(yàn)、電主軸與測(cè)功機(jī)同軸度測(cè)量等工程技術(shù)領(lǐng)域。該平臺(tái)由X軸、Y軸、Z軸移動(dòng)部分構(gòu)成,各軸通過聯(lián)軸器連接伺服電機(jī)或旋轉(zhuǎn)圓盤實(shí)現(xiàn)自動(dòng)/手動(dòng)調(diào)節(jié)。平臺(tái)采用三層疊加結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),X向底板固定于基座,Y向底板置于X軸拖板,Z向底板通過角鐵與Y軸拖板連接形成三維移動(dòng)體系。其傳動(dòng)系統(tǒng)采用M10滑動(dòng)絲桿副,具備自鎖性能且無(wú)需潤(rùn)滑,X方向滑動(dòng)絲桿副可滿足軸向和徑向剛度需求。該設(shè)備配備數(shù)顯位移測(cè)量系統(tǒng),可通過容柵傳感器實(shí)現(xiàn)位移精確定位。在電主軸與...