超薄HfO2薄膜XRR測試引言隨著晶體管節(jié)點技術的發(fā)展,薄膜厚度越來越薄。比如高-柵介電薄膜HfO2的厚度往往小于2nm。在該技術節(jié)點的a20范圍內。超薄膜的均勻性是制備Hf基柵氧化物的主要工藝難題之一。為了控制超薄HfO2薄膜的厚度和密度,XRR是的測量技術。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。不止如此——布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE。XRD可研究材料的結構和物理特性,是 重要的材料研究工具之一。廣東點陣參數(shù)精確測量XRD衍射儀配件

D8ADVANCEPlus是D8ADVANCE的又一版本,是面向多用途、多用戶實驗室的X射線平臺。它可理想地滿足您對所有樣品類型的需求,包括粉末、塊狀材料、纖維、片材和薄膜(非晶、多晶和外延):典型的X射線粉末衍射(XRD)對分布函數(shù)(PDF)分析小角X射線散射(SAXS)和廣角X射線散射(WAXS)X射線反射率(XRR)和高分辨XRD(搖擺曲線,倒易空間掃描)環(huán)境條件下和非環(huán)境條件下該系統(tǒng)的一大優(yōu)勢在于它能夠在多達6種不同的光束幾何之間進行切換:從用于粉末的Bragg-Brentano聚焦幾何到用于外延薄膜的高分辨率平行光束Kα1幾何以及兩者之間的切換。您只需按下按鈕,整個軟件盡在掌握。廣東點陣參數(shù)精確測量XRD衍射儀配件專為在環(huán)境條件下和非環(huán)境條件下,對從粉末、非晶和多晶材料到外延多層薄膜等各種材料進行結構表征而設計。

布魯克獨有的DBO功能為X射線衍射的數(shù)據質量樹立了全新的重要基準。馬達驅動發(fā)散狹縫、防散射屏和可變探測器窗口的自動同步功能,可為您提供的數(shù)據質量——尤其是在低2?角度時。除此之外,LYNXEYE全系列探測器均支持DBO:SSD160-2,LYNXEYE-2和LYNXEYEXE-T。LYNXEYEXE-T是LYNXEYE系列探測器的旗艦產品。它是目前市面上的一款可采集0D、1D和2D數(shù)據的能量色散探測器,適用于所有波長(從Cr到Ag),具有準確的計數(shù)率和角分辨率,是所有X射線衍射和散射應用的理想選擇。
由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。布魯克提供基于NIST標樣剛玉(SRM1976)的準直保證。目前,在峰位、強度和分辨率方面,市面上尚無其他粉末衍射儀的精度超過D8ADVANCE。在DIFFRAC.LEPTOS中,對多層樣品進行XRR分析,測定其薄膜厚度、晶格失配和混合晶體濃度。

對分布函數(shù)(PDF)分析是一種分析技術,它基于Bragg以及漫散射(“總散射”),提供無序材料的結構信息。其中,您可以通過Bragg衍射峰,了解材料的平均晶體結構的信息(即長程有序),通過漫散射,表征其局部結構(即短程有序)。就分析速度、數(shù)據質量以及對非晶、弱晶型、納米晶或納米結構材料的分析結果而言,D8ADVANCE和TOPAS軟件市面上性能好的PDF分析解決方案:相鑒定結構測定和精修納米粒度和形狀。由于具有出色的適應能力,使用D8ADVANCE,您就可對所有類型的樣品進行測量:從液體到粉末、從薄膜到固體塊狀物。無論是新手用戶還是專業(yè)用戶,都可簡單快捷、不出錯地對配置進行更改。這都是通過布魯克獨特的DAVINCI設計實現(xiàn)的:配置儀器時,免工具、免準直,同時還受到自動化的實時組件識別與驗證的支持。PATHFINDERPlus光學器件有一個確保測得強度的線性的自動吸收器,并可在以下之間切換:電動狹縫,分光晶體。南京二維衍射儀檢測分析
總散射分析:Bragg衍射、對分布函數(shù)(PDF)、小角X射線散射(SAXS)。廣東點陣參數(shù)精確測量XRD衍射儀配件
BRAGG2D——監(jiān)控樣品制備的質量樣品制備過程中的系統(tǒng)誤差,是分析誤差的重要來源。使用BraggBrentano幾何的2D衍射圖像,將樣品制備問題可視化,如粒徑或擇優(yōu)取向。避免就統(tǒng)計而言沒有代表性的測量結果。運營成本低不消耗水硅條帶探測器技術,無需使用探測器氣體近乎無限的光管使用壽命可重復使用的樣品支持器低功耗(650W)布魯克與水泥業(yè)密切合作,不斷改進其分析解決方案。在D2PHASER方面,我們針對水泥業(yè)提供了一個軟件包,其中包括針對10多種原材料、熟料和不同水泥類型制定的、供工廠應用的測量和數(shù)據評估方法,可有效控制窯爐以及工廠的礦物學。與水泥軟件包相結合的D2PHASER非常適合小規(guī)模運營。對于每天需要測量大量樣品的大型工廠,請參見D8ENDEAVOR。廣東點陣參數(shù)精確測量XRD衍射儀配件
不論您的預算如何,D8ADVANCEECO系列都能通過儀器配置為您帶來好的性能。由于降低了對水和電力等資源的需求,其運營成本降低。出色的儀器質量為可靠性提供了保證,同時布魯克還為之提供組件質量保證。無外部供水成本1kW高效發(fā)生器降低電力成本,無外部冷卻器耗電延長了X射線管的使用壽命X射線管質量保證:D8ADVANCEECO可用的所有高亮度X射線源均享有3年保修測角儀質量保證:測角儀采用免維護的堅固設計,可為您帶來機械強度和較長的使用壽命,因此能夠為您提供好的數(shù)據質量。其中,布魯克提供10年保修。儀器準直保證探測器質量保證在DIFFRAC.LEPTOS中,對多層樣品進行XRR分析,測定其薄膜厚度...