廣東楚嶸公司設計的無塵車間,采用先進的空氣凈化系統,結合HEPA和ULPA過濾器,能夠高效去除空氣中的微粒,確保車間內的潔凈度達到ISO 1級標準。在光刻、蝕刻等關鍵工藝區(qū)域,楚嶸公司更是設置了單獨的百級潔凈罩,通過層流送風維持正壓環(huán)境,將≥0.1μm的顆粒物濃度控制在每立方英尺10粒以內,從而保障半導體產品的良率和性能。鋰電池的生產對環(huán)境的溫濕度極為敏感。,配備了高精度的溫濕控制系統。通過先進的除濕和加濕技術,車間內的濕度可以穩(wěn)定在1%RH以下,溫度波動控制在±0.5℃以內。這樣的環(huán)境控制確保了鋰電池極片涂布、注液等工序的穩(wěn)定性,提高了電池的一致性和安全性。光學鏡片研磨需無塵環(huán)境,配合層流罩,顆粒物濃度≤35粒/m3。福建凈化無塵車間價格

無塵車間的潔凈等級是如何劃分,常用的無塵車間潔凈等級劃分依據國際標準ISO14644-1等。以每立方米空氣中不同粒徑粒子的數量為標準,百級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于3520(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于293(pc/m3);千級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于35200(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于2930(pc/m3);萬級無塵車間0.5微米的比較大容許粒子濃度小于352000(pc/m3),5微米的比較大容許粒子濃度小于29300(pc/m3);十萬級無塵車間每立方米空氣中直徑大于等于0.5um的灰塵粒的數量少于10萬個。不同行業(yè)根據自身產品特性和生產工藝,選擇合適潔凈等級的無塵車間。浙江食物無塵車間參考離子注入無塵車間,金屬污染≤1×10^6atoms/cm2,提升器件性能。

無塵無菌車間墻面選用抑制菌群生長電解鋼板或巖棉彩鋼板,其表面致密性可抑制微生物滋生,接縫處采用圓弧過渡處理消除衛(wèi)生死角。地面鋪設2mm厚防靜電PVC同質透心地板,該材料具有無縫拼接、耐化腐蝕特性。這些材料的選擇和應用,為車間提供了良好的物理和化學環(huán)境。無塵無菌車間配置FFU風機過濾單元集群,通過初效過濾器(G4級)、中效過濾器(F8級)和高效過濾器(H13級)三級過濾系統,實現ISO 5級至ISO 8級潔凈度控制。系統配備智能溫濕度控制器,維持溫度22±2℃、濕度45%±5%的恒定環(huán)境。高效的空氣凈化系統確保了車間內空氣的潔凈度和穩(wěn)定性。
隨著半導體技術和光學技術的不斷發(fā)展,半導體與光學器件的交叉領域越來越寬。例如,在光電子器件、光通信器件等領域中,半導體和光學器件的集成度越來越高。這些交叉領域對無塵車間的需求也日益增長。無塵車間在半導體與光學器件交叉領域的應用主要體現在以下幾個方面:一是提供潔凈的生產環(huán)境,滿足半導體和光學器件制造的高潔凈度要求;二是提供穩(wěn)定的溫濕度環(huán)境,確保半導體和光學器件的性能和穩(wěn)定性;三是有效控制靜電和電磁干擾,避免對精密制造和測試設備造成影響。通過無塵車間的應用,半導體與光學器件的交叉領域可以實現更高的制造精度和更可靠的器件性能。黃光區(qū)紫外防護,保護光刻膠性能與產品質量。

采用垂直單向流與水平單向流混合送風模式,在電芯堆疊區(qū)設置0.45m/s勻速氣流屏障。通過CFD模擬優(yōu)化送風面布局,使≥0.5μm顆粒物濃度始終≤3520個/m3。電芯注液工序采用隔離操作箱,內置氮氣保護系統,將氧含量控制在10ppm以下,防止電解液氧化。針對光刻工序對空氣分子污染物(AMC)的嚴苛要求,配置化學過濾機組,對硼、磷、硫等氣態(tài)雜質去除效率達99.999%。采用VOC在線監(jiān)測系統,實時檢測NH3、SO2等關鍵指標,結合FFU風機過濾單元的三級過濾體系,確保ISO1級潔凈環(huán)境。航空航天零件加工中,無塵車間通過振動隔離技術,確保加工精度達0.001mm。薄膜無塵車間改造
無塵車間地面采用防靜電PVC,表面電阻1×10^6Ω,避免元件靜電損傷。福建凈化無塵車間價格
施工前,需根據工廠要求和實際需求,精確規(guī)劃和設計無塵車間的大小、布局、設備等,形成詳細的施工圖紙。準備必要的施工材料,如符合標準的彩鋼板、空氣過濾器、凈化空調設備等,并確保材料質量合格。同時,準備好各類施工工具和設備,如電焊機、起重機等。對施工現場進行多方位清理,拆除影響施工的障礙物,確保場地平整、干凈。還要對施工人員進行技術交底和安全培訓,使其熟悉施工流程、質量標準和安全注意事項。例如,在進入無塵車間施工區(qū)域前,施工人員需穿戴好相應的防護用品,避免帶入灰塵等污染物。福建凈化無塵車間價格