北京雙光子灰度光刻技術

這款灰度光刻設備具備出色的精度和穩(wěn)定性。通過先進的光刻技術，它能夠在微米級別上進行精確的圖案制作，確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度達到比較高水平。同時，設備的穩(wěn)定性也得到了極大的提升，減少了生產(chǎn)過程中的誤差和損耗，提高了生產(chǎn)效率。這款設備具備高效的生產(chǎn)能力。它采用了快速曝光和快速開發(fā)的技術，**縮短了生產(chǎn)周期。相比傳統(tǒng)的光刻設備，它的生產(chǎn)速度提高了30%，提升了我們的生產(chǎn)效率。同時，設備還具備多通道同時加工的能力，可以同時處理多個產(chǎn)品，進一步提高了生產(chǎn)效率和產(chǎn)能。如需詳細了解雙光子聚合（2PP）和雙光子灰度光刻（2GL ?）的內(nèi)容請咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維。北京雙光子灰度光刻技術

在雙光子灰度光刻工藝中，激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位在高掃描速度下可實現(xiàn)同步進行，以便對每個掃描平面進行全體素大小控制。Nanoscribe稱，QuantumX在每個掃描區(qū)域內(nèi)可產(chǎn)生簡單和復雜的光學形狀，具有可變的特征高度。離散和精確的步驟，以及本質(zhì)上為準連續(xù)的形貌，可以在一個步驟中完成打印，而不需要多步光刻或多塊掩模制造。QuantumX支持多種類型襯底，包括透明和不透明的襯底，可用于比較大尺寸為6英寸的晶圓。Nanoscribe展示了其公司易于操作的光刻機，允許高縱橫比，支持高結(jié)構(gòu)，無需掩模、旋涂和預烘烤或后烘烤。北京高精度灰度光刻激光直寫相比于傳統(tǒng)的二進制光刻技術，灰度光刻技術可以更高效地利用光刻膠，降低成本。

微凹透鏡陣列結(jié)構(gòu)是光學器件中的一種常見組件，具有較強的聚焦和成像能力。以往制備此類結(jié)構(gòu)的方法有熱回流、灰度光刻、干法刻蝕和注射澆鑄等。受加工手段的限制，傳統(tǒng)的微透鏡陣列往往是在1個平板襯底上加工出一系列相同尺寸的凹透鏡結(jié)構(gòu)，這樣的1組微透鏡陣列無法將1個平面物體聚焦至1個像平面上，會產(chǎn)生場曲。在商業(yè)生產(chǎn)中，為了消除場曲這種光學像差，只能在后續(xù)光路中引入場鏡組來進行校正，從而增加了器件復雜度和成本。如果采用3D飛秒激光打印來加工微凹透鏡陣列即可通過設計一系列具有漸變深度的微凹透鏡單元直接消除場曲。

Nanoscribe公司PhotonicProfessionalGT2高速3D打印系統(tǒng)制作的高精度器件圖登上了剛發(fā)布的商業(yè)微納制造雜志“CommercialMicroManufacturingmagazine”（CMM）。PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術融入強大了3D打印工作流程，實現(xiàn)了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造，可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結(jié)構(gòu)制作。另外，還可以實現(xiàn)精度上限的3D打印，突破了微納米制造的限制。該打印系統(tǒng)的易用性和靈活性的特點配以非常普遍的打印材料選擇使其成為理想的實驗研究儀器和多用戶設施。想要了解灰度光刻技術的運用，歡迎咨詢Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司。

QuantumXshape是Nanoscribe推出的全新高精度3D打印系統(tǒng)，用于快速原型制作和晶圓級批量生產(chǎn)，以充分挖掘3D微納加工在科研和工業(yè)生產(chǎn)領域的潛力。該系統(tǒng)是基于雙光子聚合技術（2PP）的專業(yè)激光直寫系統(tǒng)，可為亞微米精度的2.5D和3D物體的微納加工提供極高的設計自由度。QuantumXshape可實現(xiàn)在6英寸的晶圓片上進行高精度3D微納加工。這種效率的提升對于晶圓級批量生產(chǎn)尤其重要，這對于科研和工業(yè)生產(chǎn)領域應用有著重大意義。全新QuantumXshape作為Nanoscribe工業(yè)級無掩膜光刻系統(tǒng)QuantumX產(chǎn)品系列的第二臺設備，可實現(xiàn)在25cm2面積內(nèi)打印任何結(jié)構(gòu)，很大程度推動了生命科學，微流體，材料工程學中復雜應用的快速原型制作。QuantumXshape作為具備光敏樹脂自動分配功能的直立式打印系統(tǒng)，非常適合標準6英寸晶圓片工業(yè)批量加工制造。Nanoscribe中國分公司-納糯三維為您介紹Quantum X 雙光子灰度光刻微納打印設備應用的領域。湖南工業(yè)級灰度光刻系統(tǒng)

灰度光刻技術可以實現(xiàn)高分辨率的微納米結(jié)構(gòu)制造，滿足日益增長的微電子和光電子器件對精確結(jié)構(gòu)的需求。北京雙光子灰度光刻技術

NanoscribeQuantumX平臺系統(tǒng)的超高速無掩模光刻技術的重要部分是Nanoscribe獨有專項的雙光子灰度光刻技術（2GL®）。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性完美結(jié)合，使其同時具備高速打印，完全設計自由度和超高精度的特點。已滿足高級復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。這種具有創(chuàng)新性的增材制造工藝很大程度縮短了企業(yè)的設計迭代，打印樣品結(jié)構(gòu)既可以用作技術驗證原型，也可以用作工業(yè)生產(chǎn)上的加工模具。Nanoscribe雙光子灰度光刻微納打印系統(tǒng)技術要點在于：這項技術的關鍵是在高速掃描下使激光功率調(diào)制和動態(tài)聚焦定位達到精細同步，這種智能方法能夠輕松控制每個掃描平面的體素大小，并在不影響速度的情況下，使得樣品精密部件能具有出色的形狀精度和超光滑表面。該技術將灰度光刻的出色性能與雙光子聚合的精確性和靈活性*結(jié)合，使其同時具備高速打印，完全設計自由度和超高精度的特點。從而滿足了高級復雜增材制造對于優(yōu)異形狀精度和光滑表面的極高要求。北京雙光子灰度光刻技術