天津德國雙光子聚合微納光刻

QuantumXshape是一款真正意義上的全能機型?；陔p光子聚合技術(shù)，該激光直寫系統(tǒng)不只是快速成型制作的特別好的機型，同時適用于基于晶圓上的任何亞微米精度的2.5D及3D形狀的規(guī)模化生產(chǎn)。QuantumXshape在3D微納加工領(lǐng)域非常出色的精度，比肩于Nanoscribe公司在表面結(jié)構(gòu)應用上突破性的雙光子灰度光刻(2GL®)。全新的QuantumXshape的高精度有賴于其高能力的體素調(diào)制比和超精細處理網(wǎng)格，從而實現(xiàn)亞體素的尺寸控制。此外，受益于雙光子灰度光刻對體素的微調(diào)，該系統(tǒng)在表面微結(jié)構(gòu)的制作上可達到超光滑，同時保持高精度的形狀控制Nanoscribe中國分公司-納糯三維科技（上海）有限公司為您講解雙光子聚合技術(shù)的特點和用途。天津德國雙光子聚合微納光刻

事實上，雙光子聚合加工是在2001年開始真正應用在微納制造領(lǐng)域的，其先驅(qū)者是東京大阪大學的Kawata教授以及孫洪波教授。當時這個實驗室在nature上發(fā)表的一篇工作，也就是傳說中的納米牛引起了極大的轟動：《Finerfeaturesforfunctionalmicrodevices：Micromachinescanbecreatedwithhigherresolutionusingtwo-photonabsorption.》但是，這篇文獻中還進行了另外一個更厲害的工作，這兩位教授做出了當時世界上特別小的彈簧振子，其加工分辨率達到了120nm，超越了衍射極限，同時還沒有使用諸如近場加工之類的解決方案，而是單純的利用了材料的性質(zhì)。來自不來梅大學微型傳感器、致動器和系統(tǒng)(IMSAS)研究所的科學家們發(fā)明了一種全新的微流道混合方式，使用Nanoscribe公司的3D打印系統(tǒng)，利用雙光子聚合原理（2PP）結(jié)合光刻技術(shù)，將自由形式3D微流控混合元件集成到預制的晶圓級二維微流道中。江蘇超高精度雙光子聚合微納加工系統(tǒng)雙光子聚合加工是在2001年開始真正應用在微納制造領(lǐng)域的。

雙光子聚合技術(shù)的應用前景：1. 快速3D打?。弘p光子聚合技術(shù)可以用于快速3D打印。通過這種技術(shù)，可以實現(xiàn)高精度、高分辨率的3D打印，從而制造出更加精細、復雜的結(jié)構(gòu)。這使得3D打印技術(shù)可以應用于更多領(lǐng)域，包括航空航天、醫(yī)療等高精度制造領(lǐng)域。2. 光子晶體形成：雙光子聚合技術(shù)可以用于光子晶體的制備。光子晶體是一種具有周期性折射率變化的介質(zhì)，可以控制光的傳播路徑。利用雙光子聚合技術(shù)，可以制造出具有復雜結(jié)構(gòu)和高質(zhì)量的光子晶體，為光學器件和光子芯片的制備提供新的途徑。3. 高精度光子器件制造：雙光子聚合技術(shù)可以用于高精度光子器件的制造。例如，利用這種技術(shù)可以制造出高精度的光學鏡片、光纖等光子器件。這些器件在通訊、能源等領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。4. 生物醫(yī)學領(lǐng)域應用：雙光子聚合技術(shù)還可以應用于生物醫(yī)學領(lǐng)域。例如，在生物組織工程中，可以利用這種技術(shù)制造出具有復雜結(jié)構(gòu)和高度精確的生物材料。這些材料可以用于藥物輸送、組織修復等方面，為生物醫(yī)學研究提供新的工具和思路。

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2雙光子無掩模光刻系統(tǒng)的設(shè)計多功能性配合打印材料的多方面選擇性，可以實現(xiàn)微機械元件的制作，例如用光敏聚合物，納米顆粒復合物，或水凝膠打印的遠程操控可移動微型機器人，并可以選擇添加金屬涂層。此外，微納米器件也可以直接打印在不同的基材上，甚至可以直接打印于微機電系統(tǒng)（MEMS）。雙光子灰度光刻技術(shù)可以一步實現(xiàn)真正具有出色形狀精度的多級衍射光學元件（DOE），并且滿足DOE納米結(jié)構(gòu)表面的橫向和縱向分辨率達到亞微米量級。由于需要多次光刻，刻蝕和對準工藝，衍射光學元件（DOE）的傳統(tǒng)制造耗時長且成本高?？茖W家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)，實現(xiàn)微流道母版制造和密閉通道系統(tǒng)內(nèi)部的芯片內(nèi)直接打印。

    雙光子聚合技術(shù)是一種高精度、高效率的微納加工技術(shù)，具有以下優(yōu)勢特點：高精度和高分辨率：雙光子聚合技術(shù)可以實現(xiàn)亞微米甚至納米級的分辨率，使得制造出的微納結(jié)構(gòu)更加精細。這是因為它利用雙光子吸收過程，將激光束聚焦到非常小的體積內(nèi)，從而實現(xiàn)了高精度的加工。三維加工能力：由于雙光子聚合技術(shù)可以在聚合物體積內(nèi)部進行光刻，因此可以實現(xiàn)復雜的三維結(jié)構(gòu)制造，如微型光學元件、微流體芯片等。這一特點使得它在微納制造領(lǐng)域具有廣泛的應用前景。無需光掩膜：傳統(tǒng)的光刻技術(shù)需要使用光掩膜進行圖案轉(zhuǎn)移，而雙光子聚合技術(shù)可以直接通過計算機控制激光束的位置和強度來實現(xiàn)圖案的制造，無需光掩膜。這不僅降低了制造成本，還縮短了制造周期。材料多樣性：雙光子聚合技術(shù)可以使用各種不同類型的光敏樹脂作為加工材料，從而可以制造出各種不同性質(zhì)和功能的微納結(jié)構(gòu)。這為微納制造提供了更多的選擇和靈活性。高效加工速度：雙光子聚合技術(shù)具有較高的加工速度，可以在短時間內(nèi)制造出復雜的三維結(jié)構(gòu)。這使得它在工業(yè)生產(chǎn)中具有較高的效率和競爭力。易于控制和修改：雙光子聚合的加工環(huán)境和參數(shù)易于控制，可以輕松修改得到所需的結(jié)構(gòu)。 科學家們運用Nanoscribe的雙光子聚合技術(shù)打印微型通道的聚合物母版，并結(jié)合軟光刻技術(shù)做后續(xù)復制工作。北京2PP雙光子聚合微納光刻

NanoScribe的雙光子聚合技術(shù)在光子學領(lǐng)域運用特別廣。天津德國雙光子聚合微納光刻

Nanoscribe的PhotonicProfessionalGT2使用雙光子聚合(2PP)來產(chǎn)生幾乎任何3D形狀：晶格、木堆型結(jié)構(gòu)、自由設(shè)計的圖案、順滑的輪廓、銳利的邊緣、表面的和內(nèi)置倒扣以及橋接結(jié)構(gòu)。PhotonicProfessionalGT2結(jié)合了設(shè)計的靈活性和操控的簡潔性，以及比較廣的材料-基板選擇。因此，它是一個理想的科學儀器和工業(yè)快速成型設(shè)備，適用于多用戶共享平臺和研究實驗室。Nanoscribe的3D無掩模光刻機目前已經(jīng)分布在30多個國家的前沿研究中，超過1,000個開創(chuàng)性科學研究項目是這項技術(shù)強大的設(shè)計和制造能力的特別好證明。Nanoscribe公司的PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)把雙光子聚合技術(shù)融入強大了3D打印工作流程，實現(xiàn)了各種不同的打印方案。雙光子聚合技術(shù)用于3D微納結(jié)構(gòu)的增材制造，可以通過激光直寫而避免使用昂貴的掩模版和復雜的光刻步驟來創(chuàng)建3D和2.5D微結(jié)構(gòu)制作。PhotonicProfessionalGT2系統(tǒng)可以實現(xiàn)精度上限的3D打印，突破了微納米制造的限制。該打印系統(tǒng)的易用性和靈活性的特點配以比較廣的打印材料選擇使其成為理想的實驗研究儀器和多用戶設(shè)施。

天津德國雙光子聚合微納光刻