真空計(jì)的歷史沿革1643年:意大利物理學(xué)家E.托里拆利進(jìn)行大氣壓力實(shí)驗(yàn),開創(chuàng)了定量測量真空程度的先河。19世紀(jì)中葉:英國發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計(jì),是工業(yè)上應(yīng)用*****的***型粗真空計(jì)之一。1858年:德國玻璃工,在真空度需粗略指示場合仍應(yīng)用十分普遍。1874年:,解決了低真空和高真空的***壓力的測量,是目前**基本的基準(zhǔn)***型真空計(jì)。1906年:M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計(jì),解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。,是一種典型的***型粗真空真空計(jì)。1916年:,解決了高真空的測量問題,是目前實(shí)際應(yīng)用非常普遍的高真空真空計(jì)。1937年:,適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設(shè)備的測量,在真空冶金和機(jī)械工業(yè)中得到***應(yīng)用。1940年:,是典型的測量氣體組分及分壓強(qiáng)的真空計(jì)。 皮拉尼真空計(jì)測量范圍?河南陶瓷真空計(jì)原廠家

金屬薄膜真空計(jì)是一種基于金屬薄膜在真空中阻力變化或熱傳導(dǎo)特性來測量壓力的真空計(jì)。以下是對金屬薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、基本原理金屬薄膜真空計(jì)利用金屬薄膜在真空中的特定物理性質(zhì)來測量壓力。具體來說,有兩種主要的工作原理:阻力變化原理:當(dāng)氣體分子撞擊金屬薄膜時(shí),會(huì)產(chǎn)生微小的壓力變化,這種變化會(huì)影響薄膜振蕩的固有頻率,從而間接測量壓力大小。這種方法通常用于高真空環(huán)境下的測量,因?yàn)樵诖谁h(huán)境下,氣體分子對薄膜的撞擊作用更加明顯。熱傳導(dǎo)原理:金屬薄膜真空計(jì)還可以利用真空中的熱傳導(dǎo)特性來測量氣壓。當(dāng)薄膜暴露在低壓氣氛中時(shí),會(huì)發(fā)生熱量損失,損失的熱量與氣壓成正比。通過測量熱量損失,可以計(jì)算出真實(shí)的氣壓值。這種方法通常涉及一個(gè)加熱元件(如熱陰極)和一個(gè)金屬薄膜,加熱元件發(fā)射的電子在真空中運(yùn)動(dòng)并撞擊薄膜,從而產(chǎn)生熱量損失。重慶高精度真空計(jì)設(shè)備廠家如何減少電磁干擾對皮拉尼真空計(jì)的影響?

氣體種類:特別是熱傳導(dǎo)式和電離式真空計(jì),測量值會(huì)隨氣體的種類變化,通常需要對不同氣體進(jìn)行校準(zhǔn)。污染和老化:真空計(jì)的探頭在長期使用中可能會(huì)受到污染或老化,尤其是電離式真空計(jì)中的熱陰極,需要定期維護(hù)。環(huán)境溫度:真空計(jì)的性能會(huì)受到環(huán)境溫度的影響,尤其是皮拉尼真空計(jì),其電阻元件對溫度變化敏感,可能需要在恒溫環(huán)境下進(jìn)行精確測量。綜上所述,真空計(jì)是一種精密測量真空度的關(guān)鍵儀器,在多個(gè)領(lǐng)域都發(fā)揮著重要作用。選擇合適的真空計(jì)并正確使用和維護(hù),對于確保工藝的精度和效率至關(guān)重要。
真空計(jì)可以按照測量原理、結(jié)構(gòu)特點(diǎn)以及使用范圍等進(jìn)行分類。其中,按照測量原理分類是最常見的方式。不同類型的真空計(jì)具有不同的測量范圍和精度。例如:波爾登規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。薄膜電容規(guī)的測量范圍一般橫跨4個(gè)量級,比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。熱陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa,經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī)(如Bayard-Alpert規(guī))可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。冷陰極電離規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。如何判斷電容真空計(jì)是否出現(xiàn)故障?

陶瓷薄膜真空計(jì)是一種高精度、高穩(wěn)定性的真空測量儀器,它結(jié)合了陶瓷材料的優(yōu)異性能和薄膜傳感技術(shù)的敏感特性。以下是對陶瓷薄膜真空計(jì)的詳細(xì)介紹:
基本原理:陶瓷薄膜真空計(jì)的工作原理基于電容變化的原理。它通常包含一個(gè)陶瓷基片,上面沉積有一層或多層金屬薄膜作為電容的一個(gè)極板,而另一個(gè)極板則與薄膜保持一定的間隙。當(dāng)外界真空度發(fā)生變化時(shí),陶瓷薄膜會(huì)發(fā)生微小的形變,導(dǎo)致與另一個(gè)極板之間的電容值發(fā)生變化。通過測量這種電容變化,并經(jīng)過適當(dāng)?shù)碾娐诽幚恚涂梢缘玫秸婵斩鹊闹怠?皮拉尼真空計(jì)的測量原理和特點(diǎn)有?重慶高精度真空計(jì)設(shè)備廠家
直空計(jì)使用過程中需要注意的事項(xiàng)?河南陶瓷真空計(jì)原廠家
不同類型的真空計(jì)采用不同的物理機(jī)制進(jìn)行測量,主要包括以下幾類:
利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)的真空計(jì):如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī),它們利用氣體在流動(dòng)過程中產(chǎn)生的熱效應(yīng)或電效應(yīng)來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,當(dāng)給熱絲加恒定的電流時(shí),由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同,熱絲所保持的溫度就不同,這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致,只是它不用測量熱絲電阻的變化,而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。
利用帶電粒子效應(yīng)的真空計(jì):如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī),它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計(jì)在高真空領(lǐng)域具有極高的測量精度。 河南陶瓷真空計(jì)原廠家
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。***真空計(jì)對所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。真空測量的特點(diǎn)有哪些?安徽高純度真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(1...