廣東高精度真空計生產(chǎn)企業(yè)

電容薄膜真空計

測量原理：根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應變而引起電容變化的原理制成。把加于電容薄膜上的壓力變化轉(zhuǎn)化為膜片間距離的變化，即電容的變化，再通過鑒頻器把電容變化轉(zhuǎn)換成為電流或電壓的變化，組成為輸出信號。因此，其測量直接反映了真空壓力的變化值，而且只與壓力有關(guān)，與氣體成分無關(guān)。特點：直接測量式的、全壓型的真空計，可作為低真空測量（0.01~100Pa）工作副標準的一種真空儀器。材料選擇：感壓膜片是電容薄膜真空計的中心部件，宜選用Inconel600或3J53作為感壓膜片材料，陶瓷膜片則更適用于被測壓力較大的場合。同時，為保證薄膜的平整度及承載能力，增加其穩(wěn)定性，往往使薄膜先受均勻的張力，然后再在邊緣加以固定。 真空計有哪幾種常見的類型？廣東高精度真空計生產(chǎn)企業(yè)

真空計，又稱為真空表或真空規(guī)管，是一種專門用于測量真空度或氣壓的精密儀器。它通過檢測真空環(huán)境中氣體的壓力變化，從而確定真空度的高低。真空計在多個領域有著廣泛的應用

在工業(yè)生產(chǎn)中，真空計也發(fā)揮著重要作用。以下是幾個具體的應用場景：半導體制造：在半導體制造過程中，許多關(guān)鍵工藝如蝕刻、沉積等都需要在特定的真空條件下進行。真空計用于監(jiān)控這些工藝過程中的真空度，確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。真空鍍膜：在真空鍍膜工藝中，真空計用于測量鍍膜室內(nèi)的真空度，以確保鍍膜質(zhì)量。真空熱處理：在真空熱處理過程中，真空計用于監(jiān)控熱處理室內(nèi)的真空度，以確保熱處理效果和工件質(zhì)量。 無錫金屬電容薄膜真空計設備廠家電容真空計的測量精度受哪些因素影響？

    不同類型的真空計采用不同的物理機制進行測量，主要包括以下幾類：

利用氣體動力學效應的真空計：如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī)，它們利用氣體在流動過程中產(chǎn)生的熱效應或電效應來測量真空度。皮拉尼電阻規(guī)是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導能力不同，當給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。

利用帶電粒子效應的真空計：如熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)，它們通過測量氣體分子在電離過程中產(chǎn)生的電流來推算真空度。這類真空計在高真空領域具有極高的測量精度。

    真空計的歷史沿革1643年：意大利物理學家E.托里拆利進行大氣壓力實驗，開創(chuàng)了定量測量真空程度的先河。19世紀中葉：英國發(fā)明家Bourdon發(fā)明了形變真空計，是工業(yè)上應用*****的***型粗真空計之一。1858年：德國玻璃工，在真空度需粗略指示場合仍應用十分普遍。1874年：，解決了低真空和高真空的***壓力的測量，是目前**基本的基準***型真空計。1906年：M.皮喇尼發(fā)明電阻式真空計，解決了工業(yè)生產(chǎn)中的低真空測量問題。，是一種典型的***型粗真空真空計。1916年：，解決了高真空的測量問題，是目前實際應用非常普遍的高真空真空計。1937年：，適用于有大量放氣和經(jīng)常暴露于大氣的真空設備的測量，在真空冶金和機械工業(yè)中得到***應用。1940年：，是典型的測量氣體組分及分壓強的真空計。 溫度對皮拉尼真空計測量結(jié)果有何影響？

如何選擇真空計？考慮測量范圍與精度：不同的真空計有不同的測量范圍，需要根據(jù)實際需求選擇。例如，熱陰極電離真空計適用于高真空環(huán)境（10-11 mbar），而熱阻式真空計則適用于氣壓在10-9 mbar范圍內(nèi)的測量。精度是選擇真空計時需要考慮的另一個重要因素。需要根據(jù)物體不同的尺寸、物理量等來選擇精度要求更高的真空計。考慮被測氣體與環(huán)境：部分真空計對被測氣體有要求。例如，熱陰極電離真空計的陰極易受過量空氣及泵油蒸氣等污染物的損害，因此需要考慮被測氣體是否會對真空計造成損傷。部分真空計會影響被測環(huán)境。例如，壓縮式真空計在測量時要壓縮被測氣體，這可能會使水蒸氣凝結(jié)，從而影響被測真空環(huán)境。真空計使用過程中常見的問題有哪些？溫州電容薄膜真空計原廠家

皮拉尼真空計在測量過程中需要注意哪些安全問題？廣東高精度真空計生產(chǎn)企業(yè)

根據(jù)測量原理的不同，真空計可以分為多種類型：波爾登規(guī)：利用細銅管在不同氣壓下的舒展現(xiàn)象進***壓測量。薄膜電容規(guī)：利用金屬膜片在不同壓力下變形導致的電容變化進***壓測量。皮拉尼電阻規(guī)：利用電阻與溫度之間的關(guān)系，通過測量加熱電阻絲的溫度變化來推算氣壓。熱電偶規(guī)：與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，但用熱電偶直接測量熱絲的溫度變化。熱陰極電離規(guī)：通過發(fā)射電子電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，并測量離子電流的大小來推算氣壓。冷陰極電離規(guī)：利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子，并測量離子電流的大小來推算氣壓。廣東高精度真空計生產(chǎn)企業(yè)