利用帶電粒子效用類真空計(jì)通過測量氣體分子在電場或磁場中被荷能粒子碰撞電離后產(chǎn)生的離子流或電子流來推算真空度。典型**有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。a)熱陰極電離規(guī)通過加熱陰極使其發(fā)射電子,進(jìn)而與氣體分子發(fā)生碰撞并電離。電離產(chǎn)生的離子流隨壓力變化,通過測量離子流的變化可以推算出真空中氣體分子的密度,進(jìn)而得到壓力大小。熱陰極電離規(guī)能夠提供高精度的真空度測量,常用于科研和高精度工業(yè)領(lǐng)域。
b)冷陰極電離規(guī)同熱陰極一樣,也是利用電離氣體分子收集離子電流的原理,不同的是,冷陰極利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。在測量過程中無需加熱陰極,因此具有較低的能耗和更高的可靠性。它特別適用于需要長時(shí)間連續(xù)工作的場合,如大型科研設(shè)備和工業(yè)生產(chǎn)線。其測量精度和穩(wěn)定性也相當(dāng)出色。 如何校準(zhǔn)電容真空計(jì)?江蘇大氣壓真空計(jì)原廠家

(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。四川高精度真空計(jì)原廠家真空計(jì)按刻度方法如何分類?

選擇適合的真空計(jì)對(duì)確保測量精度和系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行至關(guān)重要。以下是選擇真空計(jì)時(shí)需要考慮的關(guān)鍵因素:1. 測量范圍真空度需求:根據(jù)應(yīng)用需求選擇適合的測量范圍,如低真空、中真空、高真空或超高真空。量程匹配:確保真空計(jì)的量程覆蓋所需測量范圍。2. 精度與分辨率精度要求:選擇滿足精度要求的真空計(jì),高精度應(yīng)用需選擇高精度型號(hào)。分辨率:確保分辨率足夠高,能檢測到微小壓力變化。3. 響應(yīng)時(shí)間快速響應(yīng):對(duì)壓力變化敏感的應(yīng)用需選擇響應(yīng)時(shí)間短的真空計(jì)。穩(wěn)定性:在快速變化環(huán)境中,選擇穩(wěn)定性好的真空計(jì)。4. 環(huán)境適應(yīng)性溫度范圍:確保真空計(jì)能在工作溫度范圍內(nèi)正常運(yùn)行。耐腐蝕性:在腐蝕性氣體環(huán)境中,選擇耐腐蝕材料制成的真空計(jì)。5. 氣體類型氣體種類:不同氣體對(duì)真空計(jì)測量有影響,選擇適合測量特定氣體的真空計(jì)。氣體清潔度:在污染氣體環(huán)境中,選擇不易受污染的真空計(jì)。
2. 熱傳導(dǎo)真空計(jì)熱傳導(dǎo)真空計(jì)通過氣體熱傳導(dǎo)的變化來測量壓力,適用于低真空和中真空范圍。(1)皮拉尼真空計(jì)原理:利用加熱絲的熱量損失與氣體壓力之間的關(guān)系測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點(diǎn):響應(yīng)快、成本低。缺點(diǎn):受氣體種類影響較大。應(yīng)用:普通真空系統(tǒng)監(jiān)測。(2)熱電偶真空計(jì)原理:通過熱電偶測量加熱絲溫度變化來間接測量壓力。測量范圍:10?3 Torr 到 10 Torr。優(yōu)點(diǎn):結(jié)構(gòu)簡單、穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:低真空和中真空測量。電容真空計(jì)與熱傳導(dǎo)式真空計(jì)在測量原理上有所不同。

真空計(jì)用于測量真空系統(tǒng)中的壓力,使用方法如下:1. 選擇合適類型根據(jù)測量需求選擇合適的真空計(jì)類型,常見的有:熱偶真空計(jì):適用于低真空(1 Pa - 1000 Pa)。電離真空計(jì):適用于高真空(10^-3 Pa - 10^-8 Pa)。皮拉尼真空計(jì):適用于中真空(0.1 Pa - 1000 Pa)。電容薄膜真空計(jì):適用于寬范圍(10^-4 Pa - 1000 Pa)。2. 安裝位置選擇:安裝在真空系統(tǒng)靠近測量點(diǎn)的位置,避免氣流或溫度波動(dòng)影響。連接方式:確保接口密封良好,通常使用法蘭或螺紋連接。3. 校準(zhǔn)校準(zhǔn)步驟:使用標(biāo)準(zhǔn)真空源或校準(zhǔn)設(shè)備,按說明書進(jìn)行校準(zhǔn)。校準(zhǔn)頻率:定期校準(zhǔn),確保測量精度。4. 操作啟動(dòng):接通電源,預(yù)熱(如有需要)。讀數(shù):待讀數(shù)穩(wěn)定后記錄壓力值。調(diào)整:根據(jù)測量結(jié)果調(diào)整真空系統(tǒng)。5. 維護(hù)清潔:定期清潔傳感器,避免污染。檢查:檢查密封性和電氣連接,確保正常工作。更換:傳感器老化或損壞時(shí)及時(shí)更換。6. 注意事項(xiàng)量程:避免超出量程使用,防止損壞。環(huán)境:避免在腐蝕性、高溫或高濕環(huán)境中使用。安全:操作時(shí)注意安全,避免高壓或真空泄漏風(fēng)險(xiǎn)。7. 故障處理無讀數(shù):檢查電源和連接。讀數(shù)不穩(wěn):檢查密封性和傳感器狀態(tài)。誤差大:重新校準(zhǔn)或更換傳感器。溫度對(duì)皮拉尼真空計(jì)測量結(jié)果有何影響?江蘇真空計(jì)設(shè)備廠家
在皮拉尼真空計(jì)中,熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中,容器的內(nèi)部空氣被抽空,使其成為真空。江蘇大氣壓真空計(jì)原廠家
真空測量就是真空度的測量,而真空度是指低于大氣壓力的氣體稀薄程度。以壓力表示真空度是由于歷史上沿用下來的,并不十分合理。壓力高意味著真空度低;反之,壓力低意味著真空度高。用以探測低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。本書所述壓力的測量是指比大氣壓力小得多的氣體壓力測量。壓力是一個(gè)力學(xué)量,為單位面積所承受的力。大氣壓力為101325Pa,直接測量這樣大的壓力是容易的,但在真空技術(shù)中,測量這樣大的壓力是比較少的。真空技術(shù)中遇到的氣體壓力都很低,如有時(shí)要測10-10Pa的壓力,這樣極小的壓力用直接測量單位面積所承受的力是不可能的。因此,測量真空度的辦法通常是在氣體中造成一定的物理現(xiàn)象,然后測量這個(gè)過程中與氣體壓力有關(guān)的某些物理量,再設(shè)法間接確定出真實(shí)壓力來。例如先將被測氣體壓縮,使其壓力增高,測出增高后的壓力,再根據(jù)壓縮比計(jì)算出原來的壓力值,這就是所謂的壓縮式真空計(jì)。也可以用一根熱絲,測量氣體熱傳導(dǎo)造成的某些結(jié)果,如熱絲溫度、電阻變化等,這就構(gòu)成熱傳導(dǎo)真空計(jì)。還可以利用電子碰撞氣體分子使之電離,用測得的離子流反應(yīng)壓力,這就是電離真空計(jì)。江蘇大氣壓真空計(jì)原廠家
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。真空測量的特點(diǎn)有哪些?安徽高純度真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(1...