皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導(dǎo)率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內(nèi)的加熱絲(通常為鉑絲),該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂(電阻)。在測量過程中,加熱絲由恒定電流加熱,溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時,由于氣體分子數(shù)量減少,加熱絲的熱導(dǎo)率降低,導(dǎo)致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導(dǎo)線電阻的變化,通過惠斯通電橋測量電阻變化,即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應(yīng)頭和控制頭兩部分組成。感應(yīng)頭多為金屬或玻璃外殼,內(nèi)有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件??刂祁^則為感應(yīng)頭提供必要的電路,并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。皮拉尼真空計的測量范圍取決于所使用的具體型號和規(guī)格。四川金屬真空計設(shè)備公司

常見的真空計類型包括:直接讀取式真空計:如U型管壓力計、壓縮式真空計等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。這類真空計對所有氣體都是準確的,且與氣體種類無關(guān)。相對真空計:如熱傳導(dǎo)真空計、電離真空計等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算進行刻度,必須進行校準。這類真空計的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計:利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測量的真空計。它的測量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無關(guān)。高質(zhì)量真空計生產(chǎn)廠家皮拉尼真空計是一種測量真空壓力的儀器,它是根據(jù)皮拉尼原理制成的。

選擇真空計應(yīng)該注意什么6.安裝與接口安裝方式:根據(jù)系統(tǒng)設(shè)計選擇合適的安裝方式,如法蘭連接、螺紋連接等。接口兼容性:確保真空計的接口與系統(tǒng)兼容。7.電源與信號輸出電源需求:選擇符合系統(tǒng)電源要求的真空計。信號輸出:根據(jù)需求選擇模擬信號(如4-20mA、0-10V)或數(shù)字信號(如RS485、Modbus)輸出的真空計。8.維護與校準維護需求:選擇易于維護和清潔的真空計。校準周期:了解校準周期和校準方法,選擇易于校準的真空計。9.成本與性價比預(yù)算:在預(yù)算范圍內(nèi)選擇性價比高的真空計。長期成本:考慮長期使用成本,包括維護、校準和更換部件費用。10.品牌與售后服務(wù)品牌信譽。售后服務(wù):選擇提供良好售后服務(wù)的供應(yīng)商,確保技術(shù)支持與維修服務(wù)。
陶瓷薄膜真空計應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造:用于工藝過程中的真空度監(jiān)控。真空鍍膜:確保鍍膜質(zhì)量??蒲袑嶒灒河糜诟呔日婵諟y量。醫(yī)療設(shè)備:如電子顯微鏡、質(zhì)譜儀等。優(yōu)缺點優(yōu)點:高精度、耐腐蝕、穩(wěn)定性好、量程寬。缺點:成本較高,對安裝和使用環(huán)境要求嚴格。維護與保養(yǎng)定期校準以確保精度。保持清潔,避免污染影響性能。避免機械沖擊和振動。總結(jié)陶瓷薄膜真空計憑借其高精度和穩(wěn)定性,在多個領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用,盡管成本較高,但其性能優(yōu)勢明顯。皮拉尼真空計通常用于測量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。

由于真空技術(shù)部門所涉及的工作壓強范圍十分寬泛,任何一種類型的真空泵都不可能完全適用于所有工作環(huán)境,只能根據(jù)不同的工作壓強范圍和工作要求使用不同的真空泵,或?qū)煞N或兩種以上的真空泵組合起來形成真空泵機組。這種壓強范圍一般用真空度*注釋來表示,根據(jù)真空度的不同,又可以將真空泵分為以下幾種類型:(1)低真空(粗真空)泵:真空度在1Pa至103Pa之間。常見類型:旋片式真空泵、水環(huán)真空泵、往復(fù)式真空泵、無油真空泵等。(2)中真空泵:真空度在10-3Pa至1Pa之間。常見類型:螺桿泵、油封機械泵、羅茨真空泵等。(3)高真空泵:真空度在10-3Pa至10-7Pa之間。常見類型:滑閥式真空泵、羅茨真空泵、干式螺桿泵等。(4)超高真空泵:真空度在10-8Pa至10-12Pa之間。常見類型:旋轉(zhuǎn)活塞真空泵、分子泵、濺射離子泵、鈦升華泵、擴散泵等。*注釋:真空度:真空度是指處于真空狀態(tài)下的氣體稀薄程度。若所測設(shè)備內(nèi)的壓強低于大氣壓強,其壓力測量需要真空表。從真空表所讀得的數(shù)值稱真空度。計算方法:真空度=大氣壓強-***壓強。單位:帕斯卡(Pa)、千帕(KPa)、兆帕(MPa)、大氣壓(atm)、毫米汞柱(mmHg)、巴(bar)、托(Torr)等電離真空計的校準的注意事項有哪些?陜西金屬電容薄膜真空計多少錢
如何校準電容真空計?四川金屬真空計設(shè)備公司
真空計的拆裝需要謹慎操作,以確保設(shè)備不受損壞并保持測量精度。以下是拆裝真空計的一般步驟和注意事項。拆卸步驟斷電與泄壓:關(guān)閉電源,確保系統(tǒng)斷電。緩慢泄壓,確保系統(tǒng)內(nèi)無殘余壓力。斷開連接:斷開電氣連接,標記接線以便重新安裝。使用合適工具斷開真空計與系統(tǒng)的連接。拆卸真空計:按說明書拆卸固定螺栓或夾具。小心取下真空計,避免碰撞或掉落。檢查與清潔:檢查真空計和連接部件有無損壞或污染。清潔接口和密封面,確保無雜質(zhì)。四川金屬真空計設(shè)備公司
(1)真空計直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計算出來或由測力確定。***真空計對所有氣體都是準確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計的有U型壓力計、壓縮式真空計和熱輻射真空計等。(2)相對真空計一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡單的計算,必須進行校準才能。相對真空計一般由作為傳感器的真空計規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對真空計的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計和電離真空計等。真空測量的特點有哪些?安徽高純度真空計生產(chǎn)企業(yè)真空計在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(1...