真空的定義與分級(jí)真空是指壓力低于標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的氣體狀態(tài),根據(jù)壓力范圍分為低真空(103~1 Pa)、中真空(1~10?1 Pa)、高真空(10?1~10?? Pa)和超高真空(<10?? Pa)。低真空常用于吸塵器,高真空用于電子顯微鏡。真空分級(jí)依據(jù)氣體分子平均自由程,超高真空中分子自由程可達(dá)數(shù)千米,幾乎無碰撞。國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO 3529定義了真空等級(jí)及其應(yīng)用場(chǎng)景。
托里拆利實(shí)驗(yàn)與真空發(fā)現(xiàn)1643年,意大利科學(xué)家托里拆利通過**柱實(shí)驗(yàn)***證實(shí)真空存在。他將裝滿**的玻璃管倒置,**柱降至約760mm高度,上方形成真空。這一實(shí)驗(yàn)不僅證明了大氣壓力,還為氣壓計(jì)發(fā)明奠定基礎(chǔ)。該實(shí)驗(yàn)顯示自然厭惡真空("horrorvacui")的亞里士多德理論錯(cuò)誤,開創(chuàng)了真空科學(xué)研究。 皮拉尼真空計(jì)在測(cè)量過程中需要注意哪些安全問題?天津高純度真空計(jì)生產(chǎn)廠家

真空計(jì)與氣體脫附效應(yīng)材料放氣(如橡膠釋出H?O)會(huì)導(dǎo)致測(cè)量值虛高。解決措施:① 選用低放氣材料(Viton替代橡膠);② 烘烤(150℃可加速脫附);③ 分離測(cè)量(將規(guī)管安裝在抽氣口遠(yuǎn)端)。超高真空系統(tǒng)放氣率需<10?1? Pa·m3/s·cm2。18. 真空計(jì)的電磁兼容性電離規(guī)的高壓電源(2 kV)可能輻射EMI,需屏蔽層≥60 dB。MEMS規(guī)對(duì)RF場(chǎng)敏感,5 GHz Wi-Fi可能導(dǎo)致±5%讀數(shù)偏移。航天級(jí)真空計(jì)需通過MIL-STD-461G標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試。
測(cè)量?jī)蓚€(gè)腔室壓差,量程1~10?? Pa,精度±0.1%。應(yīng)用包括檢漏儀(氦質(zhì)譜儀參考端壓力監(jiān)控)和分子泵前級(jí)壓力控制。硅諧振式傳感器(如橫河EJA系列)溫度穩(wěn)定性達(dá)±0.1%FS/年。 江蘇電容薄膜真空計(jì)設(shè)備廠家真空計(jì)的適用壓力范圍是?

在實(shí)際應(yīng)用中,不同類型的真空計(jì)通常結(jié)合使用,以覆蓋不同的壓力范圍。同時(shí),為了確保真空計(jì)的精度和可靠性,需要定期對(duì)其進(jìn)行校準(zhǔn)和維護(hù)。此外,在選擇真空計(jì)時(shí),還需要考慮其測(cè)量范圍、精度、響應(yīng)時(shí)間等性能指標(biāo),以及工作環(huán)境中的氣體種類、溫度等因素對(duì)真空計(jì)性能的影響。綜上所述,真空計(jì)在科研、工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療、航空航天等多個(gè)領(lǐng)域都發(fā)揮著重要作用。隨著科技的不斷發(fā)展,真空計(jì)的性能將不斷提升,應(yīng)用范圍也將進(jìn)一步擴(kuò)大。
8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測(cè)量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)放射性電離真空計(jì)原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):無需電源,穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測(cè)量。(2)聲波真空計(jì)原理:通過聲波傳播速度變化測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):非接觸式測(cè)量。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。選擇真空計(jì)的標(biāo)準(zhǔn)是什么?

皮拉尼真空計(jì)是一種基于熱傳導(dǎo)原理的真空測(cè)量?jī)x器,用于低真空到中真空范圍的測(cè)量。其工作原理是通過測(cè)量氣體分子對(duì)熱絲的熱傳導(dǎo)變化來確定壓力。工作原理皮拉尼真空計(jì)的部件是一根加熱的金屬絲(通常是鎢或鉑),其工作原理如下:加熱與熱傳導(dǎo):金屬絲通電加熱,熱量通過氣體分子傳導(dǎo)。壓力變化:氣體壓力越高,分子越多,熱傳導(dǎo)越強(qiáng),金屬絲溫度下降。電阻變化:金屬絲溫度變化導(dǎo)致電阻變化,通過測(cè)量電阻變化間接測(cè)量壓力。主要特點(diǎn)寬量程:適用于低真空到中真空范圍(通常為10^-1 Pa到10^5 Pa)??焖夙憫?yīng):對(duì)壓力變化反應(yīng)迅速。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單:易于制造和維護(hù)。成本較低:相比其他真空計(jì),價(jià)格較為經(jīng)濟(jì)。真空計(jì)應(yīng)如何進(jìn)行日常的維修與保養(yǎng)?電容薄膜真空計(jì)多少錢
真空計(jì)使用時(shí)應(yīng)該注意什么?天津高純度真空計(jì)生產(chǎn)廠家
皮拉尼真空計(jì),又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”,屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹:一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼(Marcello Stefano Pirani)于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作,當(dāng)時(shí)需要高真空環(huán)境來制造燈絲,而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計(jì)量器較為笨重且不便,這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計(jì)。二、工作原理皮拉尼真空計(jì)通過加熱電阻絲至一定的工作溫度,然后監(jiān)測(cè)由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量,這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時(shí),熱量從金屬絲中傳遞出來。熱損失是氣體壓力的函數(shù),在低壓下,低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此,提供給元件的電流變得依賴于真空壓力,從而可以通過測(cè)量的電流間接測(cè)量真空值。天津高純度真空計(jì)生產(chǎn)廠家
(1)真空計(jì)直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過自身幾何尺寸計(jì)算出來或由測(cè)力確定。***真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的且與氣體種類無關(guān),屬于***真空計(jì)的有U型壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)和熱輻射真空計(jì)等。(2)相對(duì)真空計(jì)一些氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來確定壓力,不能通過簡(jiǎn)單的計(jì)算,必須進(jìn)行校準(zhǔn)才能。相對(duì)真空計(jì)一般由作為傳感器的真空計(jì)規(guī)管(或規(guī)頭)和用于控制、指示的測(cè)量器組成。讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。相對(duì)真空計(jì)的種類很多,如熱傳導(dǎo)真空計(jì)和電離真空計(jì)等。真空測(cè)量的特點(diǎn)有哪些?安徽高純度真空計(jì)生產(chǎn)企業(yè)真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控:電容規(guī)測(cè)腔體壓力(1~10?2 Pa),電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)(1...