無(wú)錫金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家

1. 機(jī)械式真空計(jì)機(jī)械式真空計(jì)通過(guò)物理形變或液柱高度差來(lái)測(cè)量壓力，適用于粗真空和低真空范圍。（1）U型管壓力計(jì)原理：利用液柱（如水或汞）的高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：通常為大氣壓到約 1 Torr（133 Pa）。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低。缺點(diǎn)：精度較低，不適用于高真空。應(yīng)用：實(shí)驗(yàn)室粗真空測(cè)量。（2）布爾登壓力計(jì)原理：利用金屬管（布爾登管）在壓力作用下的形變來(lái)測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：大氣壓到約 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、耐用。缺點(diǎn)：精度有限，不適用于高真空。應(yīng)用：工業(yè)粗真空和低真空測(cè)量。真空計(jì)選型需要注意什么？無(wú)錫金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家

真空計(jì)在半導(dǎo)體工藝中的應(yīng)用刻蝕機(jī)需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控：電容規(guī)測(cè)腔體壓力（1~10?2Pa），電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)（10?2~10??Pa）。ALD設(shè)備要求真空計(jì)耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī)）。數(shù)據(jù)采樣率需>10Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14.真空計(jì)的壽命與維護(hù)熱陰極規(guī)壽命約1~2萬(wàn)小時(shí)（燈絲斷裂）；冷陰極規(guī)可達(dá)10萬(wàn)小時(shí)。維護(hù)包括：①定期烘烤除氣（200℃/24h）；②避免油蒸氣污染；③檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開(kāi)路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。山東大氣壓真空計(jì)設(shè)備公司在皮拉尼真空計(jì)中，熱敏電阻被放置在一個(gè)密閉的容器中，容器的內(nèi)部空氣被抽空，使其成為真空。

6. 麥克勞真空計(jì)麥克勞真空計(jì)，通過(guò)壓縮氣體測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高，無(wú)需校準(zhǔn)。缺點(diǎn)：操作復(fù)雜，響應(yīng)慢。應(yīng)用：實(shí)驗(yàn)室高真空校準(zhǔn)。7. 質(zhì)譜儀質(zhì)譜儀通過(guò)分析氣體成分來(lái)間接測(cè)量壓力，適用于超高真空和極高真空范圍。（1）四極質(zhì)譜儀原理：利用四極電場(chǎng)分離氣體離子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點(diǎn)：可分析氣體成分。缺點(diǎn)：成本高，操作復(fù)雜。應(yīng)用：超高真空和極高真空系統(tǒng)。

3. 電離真空計(jì)電離真空計(jì)通過(guò)電離氣體分子來(lái)測(cè)量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計(jì)原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：精度高、測(cè)量范圍廣。缺點(diǎn)：熱陰極易損壞，需要較高維護(hù)。應(yīng)用：高真空和超高真空系統(tǒng)。（2）冷陰極電離真空計(jì)原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過(guò)離子電流測(cè)量壓力。測(cè)量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn)：無(wú)需熱陰極，壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn)：?jiǎn)?dòng)時(shí)間較長(zhǎng)，穩(wěn)定性稍差。應(yīng)用：高真空和超高真空系統(tǒng)。電容真空計(jì)的工作原理是怎樣的？

皮拉尼真空計(jì)，又有翻譯為“派藍(lán)尼真空計(jì)”，屬于熱傳導(dǎo)式真空計(jì)的一種。以下是對(duì)皮拉尼真空計(jì)的詳細(xì)介紹：一、歷史背景皮拉尼真空計(jì)由馬塞洛·皮拉尼（Marcello Stefano Pirani）于1906年發(fā)明。皮拉尼曾在從事真空燈行業(yè)的西門子和哈爾斯克公司工作，當(dāng)時(shí)需要高真空環(huán)境來(lái)制造燈絲，而生產(chǎn)環(huán)境中使用的計(jì)量器較為笨重且不便，這促使他發(fā)明了更為便捷的真空計(jì)。二、工作原理皮拉尼真空計(jì)通過(guò)加熱電阻絲至一定的工作溫度，然后監(jiān)測(cè)由于氣體粒子與電阻絲碰撞而帶走的能量，這種能量損失與電阻絲周圍的氣體濃度及氣體成分成比例關(guān)系。當(dāng)氣體分子與加熱的金屬絲碰撞時(shí)，熱量從金屬絲中傳遞出來(lái)。熱損失是氣體壓力的函數(shù)，在低壓下，低氣體密度提供了低的熱導(dǎo)率。因此，提供給元件的電流變得依賴于真空壓力，從而可以通過(guò)測(cè)量的電流間接測(cè)量真空值。選擇真空計(jì)時(shí)需要綜合考慮多個(gè)因素。陜西真空計(jì)供應(yīng)商

皮拉尼真空計(jì)的測(cè)量原理和特點(diǎn)有？無(wú)錫金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量，而真空度（詳細(xì)注釋見(jiàn)前文：知識(shí)分享②|真空如何獲得？）是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常，將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋：大氣壓力：通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓，壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃（273.15K）時(shí)，在重力加速度為980.655cm/s2處（即在地球緯度為45°的海平面上），使用**的密度為13.5951g/cm3，則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱（mmHg）和1托(Torr)相近，兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr無(wú)錫金屬電容薄膜真空計(jì)生產(chǎn)廠家