常見真空泵類型機(jī)械泵:通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生真空旋片式真空泵螺桿真空泵羅茨泵(增壓泵)擴(kuò)散泵:利用高速油蒸氣噴射產(chǎn)生真空渦輪分子泵:通過(guò)高速旋轉(zhuǎn)葉片將氣體分子排出低溫泵:利用低溫表面冷凝氣體分子應(yīng)用領(lǐng)域半導(dǎo)體制造(晶圓加工、鍍膜)科研實(shí)驗(yàn)(粒子加速器、表面分析)醫(yī)療設(shè)備(MRI、真空吸引)食品包裝(真空保鮮)光學(xué)鍍膜真空冶金
選型考慮因素所需達(dá)到的真空度抽氣速率要求被抽氣體性質(zhì)(腐蝕性、可凝性等)系統(tǒng)潔凈度要求運(yùn)行和維護(hù)成本 真空泵維修的具體案例。廣東高質(zhì)量真空真空泵維修原廠家

維護(hù)建議日常保養(yǎng):定期換油(油封泵每500-2000小時(shí),高溫環(huán)境縮短周期)。清潔進(jìn)氣過(guò)濾器(防止粉塵進(jìn)入泵腔)。長(zhǎng)期停用:排空舊油,注入防銹油。封閉進(jìn)氣口和排氣口。注意事項(xiàng)安全警示:勿在易燃環(huán)境中操作(真空泵可能排放可燃油霧)。處理腐蝕性介質(zhì)后,需徹底清潔泵體。技術(shù)限制:高精度泵(如分子泵)需專業(yè)設(shè)備校準(zhǔn),建議返廠維修。無(wú)經(jīng)驗(yàn)者避免自行拆解復(fù)雜泵型。示例:旋片泵換油步驟運(yùn)行泵至溫?zé)幔ㄅf油流動(dòng)性更好)。擰開放油塞,排盡舊油。注入清洗油(如煤油),短暫運(yùn)行后排出。加入新油至規(guī)定油位(通常油窗的1/2~2/3)。海南測(cè)量真空泵維修修理真空泵日常檢查項(xiàng)目。

非機(jī)械真空泵(非機(jī)械運(yùn)動(dòng)抽氣)(1)擴(kuò)散泵優(yōu)點(diǎn):極限真空極高(10??~10??Pa)。無(wú)運(yùn)動(dòng)部件,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn):需前級(jí)泵配合使用。油蒸氣可能返流污染系統(tǒng)。(2)渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn):超高真空(10??~10??Pa),無(wú)油污染。適用于科研、半導(dǎo)體制造。缺點(diǎn):價(jià)格昂貴,維護(hù)成本高。需精密軸承(如磁懸浮軸承)。(3)低溫泵(Cryopump)優(yōu)點(diǎn):極限真空極高(10??~10?1?Pa)。無(wú)油、無(wú)振動(dòng),適用于極高真空環(huán)境。缺點(diǎn):需定期再生(解吸氣體),維護(hù)復(fù)雜。初始投資高。
維修步驟安全準(zhǔn)備斷電并釋放泵內(nèi)真空。排空舊油(油封泵),佩戴防護(hù)裝備。拆卸與檢查按手冊(cè)順序拆卸外殼、轉(zhuǎn)子、旋片等部件。重點(diǎn)檢查:密封件:更換老化或變形的O型圈、軸封。磨損件:旋片、轉(zhuǎn)子、缸體劃痕(嚴(yán)重磨損需更換)。軸承:轉(zhuǎn)動(dòng)是否順暢,有無(wú)異響。油路:清潔濾網(wǎng)、油路堵塞。清潔與組裝用無(wú)塵布和**溶劑(如**)清潔零件。更換新油(推薦原廠指定型號(hào),如旋片泵用礦物油或合成油)。嚴(yán)格按手冊(cè)扭矩和順序組裝,確保密封對(duì)齊。測(cè)試空載運(yùn)行:檢查噪音、振動(dòng)、電流是否正常。真空測(cè)試:用真空計(jì)測(cè)量極限真空度和抽速是否達(dá)標(biāo)。真空獲得需要的關(guān)鍵參數(shù)有哪些?

清潔與組裝清潔方法:用無(wú)紡布和**溶劑(如**)***泵腔油污、積碳。干式泵需徹底***粉塵(避免使用水洗,防止銹蝕)。組裝要點(diǎn):涂抹少量真空脂在密封面(如端蓋法蘭)。按拆卸逆序組裝,確保旋片、轉(zhuǎn)子方向正確。對(duì)稱擰緊螺栓(避免受力不均導(dǎo)致泄漏)。6.測(cè)試與調(diào)試空載測(cè)試:點(diǎn)動(dòng)啟動(dòng),觀察電機(jī)轉(zhuǎn)向是否正確。運(yùn)行5-10分鐘,檢查:噪音/振動(dòng)是否正常。油封泵的油霧排放情況。電機(jī)電流(異常升高可能預(yù)示過(guò)載)。性能測(cè)試:連接真空計(jì),測(cè)量極限真空度(對(duì)比出廠標(biāo)準(zhǔn))。抽氣速率測(cè)試(如用流量計(jì))。真空泵維修后如何調(diào)試?西藏真空真空泵維修設(shè)備廠家
真空系統(tǒng)是由幾個(gè)部分組成的?廣東高質(zhì)量真空真空泵維修原廠家
年度大維護(hù)***拆檢(根據(jù)使用頻率)更換磨損的旋片、軸承、密封圈等易損件。清理泵腔內(nèi)積碳、油泥(可用**清洗劑浸泡后擦拭)。校準(zhǔn)真空度對(duì)比真空表讀數(shù)與標(biāo)準(zhǔn)值,偏差大時(shí)需排查泄漏或部件老化。潤(rùn)滑電機(jī)軸承加注高溫潤(rùn)滑脂(如鋰基脂),避免干磨。五、注意事項(xiàng)停泵操作:先關(guān)閉進(jìn)氣閥,再斷電,防止倒吸污染泵腔。防腐蝕:抽除腐蝕性氣體后,需用惰性氣體沖洗泵腔(如氮?dú)獯祾撸?。環(huán)境要求:保持通風(fēng),避免粉塵、潮濕環(huán)境。備用配件:常備油封、過(guò)濾器等易耗品,減少停機(jī)時(shí)間。廣東高質(zhì)量真空真空泵維修原廠家
拆卸泵體拆卸順序(以旋片泵為例):拆除進(jìn)氣口、排氣口管道。卸下油箱(如有)和油濾網(wǎng)。松開端蓋螺栓,分離泵腔與電機(jī)。取出轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等運(yùn)動(dòng)部件。注意事項(xiàng):拍照或標(biāo)記零件位置,避免裝錯(cuò)。使用**工具(如拉馬拆卸軸承)。4. 關(guān)鍵部件檢查與維修密封系統(tǒng):更換老化/變形的O型圈、軸封(材質(zhì)需耐油耐溫,如氟橡膠)。檢查進(jìn)氣閥密封性(如氣鎮(zhèn)閥是否漏氣)。磨損件:旋片泵:測(cè)量旋片長(zhǎng)度(磨損超過(guò)原長(zhǎng)度10%需更換)。羅茨泵/螺桿泵:檢查轉(zhuǎn)子間隙(用塞尺測(cè)量,超出公差需調(diào)整或更換)。缸體/泵腔:檢查內(nèi)壁劃痕(輕微劃痕可拋光,嚴(yán)重需鏜缸或更換)。軸承與軸:轉(zhuǎn)動(dòng)軸承聽是否有雜音,更換卡滯或松動(dòng)軸承。檢查軸頸磨損...