常見的真空泵及真空泵機(jī)組(1)幾種常用的真空泵①旋片式機(jī)械泵:應(yīng)用*****的一種真空泵,它常被作為真空系統(tǒng)中的粗抽泵和前級(jí)泵。它是用油來保持密封并依靠機(jī)械方法不斷的改變泵內(nèi)吸氣空腔的體積,從而使被抽容器內(nèi)的氣體逐漸減少。工作壓強(qiáng)范圍為10 Pa至1.33×10-2 Pa??,屬于低真空泵。
②羅茨真空泵:羅茨泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?,工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似,靠泵腔內(nèi)一對(duì)葉形轉(zhuǎn)子同步、反向旋轉(zhuǎn)的推壓作用來移動(dòng)氣體而實(shí)現(xiàn)抽氣。根據(jù)羅茨真空泵工作范圍的不同,又分為直排大氣的低真空羅茨泵(壓強(qiáng)范圍通常在104 Pa到2×104 Pa之間);中真空羅茨泵(又稱機(jī)械增壓泵,出口壓力在4×103 Pa以下,吸入壓力在103 Pa到10-1 Pa之間)和高真空多級(jí)羅茨泵(壓強(qiáng)范圍通常在10-1 Pa到10-6 Pa之間)。普通羅茨真空泵是不能單獨(dú)使用的,必須配上合適的前級(jí)真空泵組成機(jī)組使用。 真空泵有異常噪音和振動(dòng)應(yīng)如何解決?河北專業(yè)真空真空泵維修公司

非機(jī)械真空泵(非機(jī)械運(yùn)動(dòng)抽氣)(1)擴(kuò)散泵優(yōu)點(diǎn):極限真空極高(10??~10??Pa)。無運(yùn)動(dòng)部件,壽命長(zhǎng)。缺點(diǎn):需前級(jí)泵配合使用。油蒸氣可能返流污染系統(tǒng)。(2)渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn):超高真空(10??~10??Pa),無油污染。適用于科研、半導(dǎo)體制造。缺點(diǎn):價(jià)格昂貴,維護(hù)成本高。需精密軸承(如磁懸浮軸承)。(3)低溫泵(Cryopump)優(yōu)點(diǎn):極限真空極高(10??~10?1?Pa)。無油、無振動(dòng),適用于極高真空環(huán)境。缺點(diǎn):需定期再生(解吸氣體),維護(hù)復(fù)雜。初始投資高。上海專業(yè)真空真空泵維修多少錢用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置稱為真空泵。

真空泵是用于產(chǎn)生、改善和維持真空環(huán)境的設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、醫(yī)療、化工、食品包裝等領(lǐng)域。根據(jù)工作原理和結(jié)構(gòu),真空泵可分為機(jī)械泵和非機(jī)械泵兩大類,每類下又有多種類型。以下是主要真空泵的類型及其工作原理:機(jī)械真空泵(通過機(jī)械運(yùn)動(dòng)抽氣)1.油封旋片真空泵(Oil-SealedRotaryVanePump)原理:依靠偏心轉(zhuǎn)子帶動(dòng)旋片在泵腔內(nèi)旋轉(zhuǎn),旋片在離心力作用下緊貼泵壁,將氣體從進(jìn)氣口吸入并壓縮,**終通過排氣閥排出。油用于密封、潤(rùn)滑和冷卻。特點(diǎn):極限真空:10?2~10?3Pa(高真空需配合擴(kuò)散泵或分子泵)。適用于低真空,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,維護(hù)方便。需定期換油,避免油污染。
非機(jī)械真空泵(非機(jī)械運(yùn)動(dòng)抽氣)1.擴(kuò)散泵(DiffusionPump)原理:加熱泵油產(chǎn)生高速油蒸氣射流,氣體分子被“拖拽”至出口,由前級(jí)泵抽走。特點(diǎn):極限真空:10??~10??Pa(超高真空)。無運(yùn)動(dòng)部件,但需前級(jí)泵配合。油可能返流污染系統(tǒng)。2.渦輪分子泵(TurbomolecularPump)原理:高速旋轉(zhuǎn)的渦輪葉片(轉(zhuǎn)速可達(dá)數(shù)萬RPM)撞擊氣體分子,使其定向運(yùn)動(dòng)至排氣口。特點(diǎn):極限真空:10??~10??Pa(超高真空)。無油污染,適用于半導(dǎo)體、科研。需軸承潤(rùn)滑(磁懸浮軸承更先進(jìn))。真空泵日常檢查項(xiàng)目。

真空泵的日常維護(hù)是確保其長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行、延長(zhǎng)使用壽命的關(guān)鍵。以下是詳細(xì)的維護(hù)步驟和注意事項(xiàng),適用于常見的旋片式、螺桿式、渦旋式等真空泵:
每月/季度維護(hù)檢查皮帶張力(皮帶傳動(dòng)型)手指按壓皮帶中部,下垂幅度約10~15mm為正常,過松打滑,過緊損傷軸承。清理冷卻系統(tǒng)風(fēng)冷泵:清潔散熱片灰塵;水冷泵:檢查水路暢通,無垢無泄漏。電氣部件檢查電機(jī)絕緣電阻、接線端子緊固,避免缺相運(yùn)行。
電氣部件檢查電機(jī)絕緣電阻、接線端子緊固,避免缺相運(yùn)行。 真空泵如何定期保養(yǎng)?海南專業(yè)真空真空泵維修多少錢
常用的真空泵是哪種類型?河北專業(yè)真空真空泵維修公司
干式螺桿真空泵優(yōu)點(diǎn):無油設(shè)計(jì),避免污染,適用于潔凈環(huán)境(如半導(dǎo)體、制藥)。耐腐蝕,可抽除可凝性氣體和粉塵。維護(hù)周期長(zhǎng),運(yùn)行穩(wěn)定。缺點(diǎn):初始成本較高。對(duì)加工精度要求高,維修復(fù)雜。(3)羅茨真空泵(Roots Pump)優(yōu)點(diǎn):抽速大,適合大流量抽氣。干式運(yùn)行,無油污染。結(jié)構(gòu)緊湊,振動(dòng)小。缺點(diǎn):不能單獨(dú)使用,需搭配前級(jí)泵(如旋片泵)。對(duì)氣體中的粉塵敏感。(4)液環(huán)真空泵優(yōu)點(diǎn):可抽除潮濕、腐蝕性氣體(如化工、制藥行業(yè))。結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,耐沖擊。缺點(diǎn):極限真空較低(103 ~ 10? Pa)。需持續(xù)補(bǔ)充工作液(水或油),能耗較高。河北專業(yè)真空真空泵維修公司
拆卸泵體拆卸順序(以旋片泵為例):拆除進(jìn)氣口、排氣口管道。卸下油箱(如有)和油濾網(wǎng)。松開端蓋螺栓,分離泵腔與電機(jī)。取出轉(zhuǎn)子、旋片、彈簧等運(yùn)動(dòng)部件。注意事項(xiàng):拍照或標(biāo)記零件位置,避免裝錯(cuò)。使用**工具(如拉馬拆卸軸承)。4. 關(guān)鍵部件檢查與維修密封系統(tǒng):更換老化/變形的O型圈、軸封(材質(zhì)需耐油耐溫,如氟橡膠)。檢查進(jìn)氣閥密封性(如氣鎮(zhèn)閥是否漏氣)。磨損件:旋片泵:測(cè)量旋片長(zhǎng)度(磨損超過原長(zhǎng)度10%需更換)。羅茨泵/螺桿泵:檢查轉(zhuǎn)子間隙(用塞尺測(cè)量,超出公差需調(diào)整或更換)。缸體/泵腔:檢查內(nèi)壁劃痕(輕微劃痕可拋光,嚴(yán)重需鏜缸或更換)。軸承與軸:轉(zhuǎn)動(dòng)軸承聽是否有雜音,更換卡滯或松動(dòng)軸承。檢查軸頸磨損...