安徽真空計原廠家

真空測量是指用特定的儀器和裝置，對某一特定空間內真空高低的測定，這種儀器或裝置稱為真空計（儀器、規(guī)管）。真空計的種類很多，通常按測量原理可分為***真空計和相對真空計兩大類：***真空計：通過測定物理參數(shù)直接獲得氣體壓強的真空計。例如U型壓力計、壓縮式真空計等，這類真空計所測量的物理參數(shù)與氣體成分無關，測量比較準確。但是在氣體壓強很低的情況下，直接進行測量是極其困難的。相對真空計：通過測量與壓強有關的物理量，并與***真空計比較后得到壓強值的真空計。如放電真空計、熱傳導真空計、電離真空計等，它的特點是測量的準確度略差，而且和氣體的種類有關。在實際生產(chǎn)中，除真空校準外，大都使用相對真空計。真空計使用時應該注意什么？安徽真空計原廠家

真空計在半導體工藝中的應用刻蝕機需多規(guī)聯(lián)合監(jiān)控：電容規(guī)測腔體壓力（1~10?2 Pa），電離規(guī)監(jiān)控等離子體區(qū)（10?2~10?? Pa）。ALD設備要求真空計耐腐蝕（如Al?O?鍍膜用氟化釔涂層電離規(guī)）。數(shù)據(jù)采樣率需>10 Hz以匹配工藝控制節(jié)奏。14. 真空計的壽命與維護熱陰極規(guī)壽命約1~2萬小時（燈絲斷裂）；冷陰極規(guī)可達10萬小時。維護包括：① 定期烘烤除氣（200℃/24h）；② 避免油蒸氣污染；③ 檢查電纜絕緣（高阻抗易受干擾）。故障模式中，燈絲開路占70%，陶瓷絕緣劣化占20%。南京高精度真空計設備供應商如何判斷電容真空計是否出現(xiàn)故障？

皮拉尼真空計利用氣體分子的熱導率隨壓力變化而變化的特性來測量真空度。它包含一個封閉在室內的加熱絲（通常為鉑絲），該加熱絲形成了惠斯通電橋的一個臂（電阻）。在測量過程中，加熱絲由恒定電流加熱，溫度升高。當加熱絲置于真空或低壓氣體環(huán)境中時，由于氣體分子數(shù)量減少，加熱絲的熱導率降低，導致加熱絲溫度進一步升高。這一溫度變化會引起導線電阻的變化，通過惠斯通電橋測量電阻變化，即可間接獲得真空度的讀數(shù)。皮拉尼真空計主要由感應頭和控制頭兩部分組成。感應頭多為金屬或玻璃外殼，內有感測真空壓力的燈絲或其他感溫元件?？刂祁^則為感應頭提供必要的電路，并負責信號放大和信號數(shù)字化的工作。

6. 麥克勞真空計麥克勞真空計，通過壓縮氣體測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。原理：利用氣體壓縮后的液柱高度差測量壓力。測量范圍：10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：精度高，無需校準。缺點：操作復雜，響應慢。應用：實驗室高真空校準。7. 質譜儀質譜儀通過分析氣體成分來間接測量壓力，適用于超高真空和極高真空范圍。（1）四極質譜儀原理：利用四極電場分離氣體離子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?? Torr。優(yōu)點：可分析氣體成分。缺點：成本高，操作復雜。應用：超高真空和極高真空系統(tǒng)。真空計使用過程中需要注意的事項？

熱傳導真空計：利用氣體在不同壓強下熱傳導能力隨之變化的原理測量氣體壓強。在這類真空計中，以一定加熱電流通過裝有熱絲的規(guī)頭，熱絲的溫度決定于加熱和散熱之間的平衡。散熱能力是氣體壓強的函數(shù)，故熱絲的溫度隨壓強而變化。熱傳導真空計主要用于100~10^-1帕范圍，采取特殊措施可擴大測量范圍。不過，熱傳導真空計的指示不但和氣體種類有關，而且易受熱絲表面污染、環(huán)境溫度等因素影響，故準確度不高，只作粗略的真空指示用。粘滯真空計：利用在真空中轉動或振動的物體受氣體分子阻尼作用而發(fā)生運動衰減的現(xiàn)象來測量氣體壓強。氣體分子的阻尼力與壓強有關。實際使用的粘滯真空計主要有磁懸浮轉子真空計和振膜真空計。磁懸浮轉子真空計利用可控磁場把不銹鋼球懸浮在真空中，用旋轉磁場把鋼球加速到400轉/秒，然后停止加速，任其自然衰減，用電子學方法精確測量其轉速衰減率，從而確定壓強。這種真空計具有很高的測量精度，吸氣、放氣速率小，壓強指示受氣體種類影響小，如鋼球表面鍍金則可在較惡劣的氣氛下工作。然而這種真空計在高真空端的讀數(shù)受振動影響較大，測量時間也較長。因此，它可作為1~10^-4帕范圍內的副標準真空計或用作標準傳遞真空計。溫度對皮拉尼真空計測量結果有何影響？安徽高精度真空計公司

真空計原理及測量范圍是？安徽真空計原廠家

3. 電離真空計電離真空計通過電離氣體分子來測量壓力，適用于高真空和超高真空范圍。（1）熱陰極電離真空計原理：利用熱陰極發(fā)射電子電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?1? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：精度高、測量范圍廣。缺點：熱陰極易損壞，需要較高維護。應用：高真空和超高真空系統(tǒng)。（2）冷陰極電離真空計原理：利用冷陰極放電電離氣體分子，通過離子電流測量壓力。測量范圍：10?12 Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點：無需熱陰極，壽命長。缺點：啟動時間較長，穩(wěn)定性稍差。應用：高真空和超高真空系統(tǒng)。安徽真空計原廠家