概述陶瓷薄膜真空計(jì)是一種用于測(cè)量真空環(huán)境中壓力的傳感器,應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、科研實(shí)驗(yàn)等領(lǐng)域。其部件是陶瓷薄膜,通過(guò)測(cè)量薄膜在壓力作用下的形變來(lái)推算真空度。工作原理薄膜形變:陶瓷薄膜在壓力差作用下發(fā)生形變。信號(hào)轉(zhuǎn)換:形變通過(guò)壓阻或電容效應(yīng)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。信號(hào)處理:電信號(hào)經(jīng)放大和處理后,輸出與壓力對(duì)應(yīng)的讀數(shù)。主要特點(diǎn)高精度:測(cè)量精度高,適用于低真空至高真空范圍。耐腐蝕:陶瓷材料耐腐蝕,適合惡劣環(huán)境。穩(wěn)定性好:長(zhǎng)期穩(wěn)定性優(yōu)異,漂移小。寬量程:覆蓋從低真空到高真空的范圍。真空計(jì)按刻度方法如何分類?上海高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商

常見(jiàn)的真空計(jì)類型包括:直接讀取式真空計(jì):如U型管壓力計(jì)、壓縮式真空計(jì)等,它們直接讀取氣體壓力,其壓力響應(yīng)(刻度)可通過(guò)自身幾何尺寸計(jì)算出來(lái)或由測(cè)力確定。這類真空計(jì)對(duì)所有氣體都是準(zhǔn)確的,且與氣體種類無(wú)關(guān)。相對(duì)真空計(jì):如熱傳導(dǎo)真空計(jì)、電離真空計(jì)等,它們由一些與氣體壓力有函數(shù)關(guān)系的量來(lái)確定壓力,不能通過(guò)簡(jiǎn)單的計(jì)算進(jìn)行刻度,必須進(jìn)行校準(zhǔn)。這類真空計(jì)的讀數(shù)與氣體種類有關(guān)。電容式薄膜真空計(jì):利用彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成,是一種絕壓、全壓測(cè)量的真空計(jì)。它的測(cè)量直接反映了真空壓力的變化值,而且只與壓力有關(guān),與氣體成分無(wú)關(guān)。蘇州大氣壓真空計(jì)公司真空計(jì)的維修與保養(yǎng)。

(1)利用氣體熱學(xué)特征類真空計(jì)通過(guò)測(cè)量氣體分子在真空中的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)或動(dòng)力學(xué)效應(yīng)來(lái)推算真空度,典型**有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī)。a)皮拉尼電阻規(guī)利用熱絲在真空中的熱傳導(dǎo)效應(yīng)來(lái)測(cè)量真空度。當(dāng)真空度發(fā)生變化時(shí),熱絲的熱傳導(dǎo)性能會(huì)受到影響,進(jìn)而導(dǎo)致電阻發(fā)生變化。通過(guò)測(cè)量電阻的變化,可以推算出真空度的數(shù)值。皮拉尼電阻規(guī)具有靈敏度高、測(cè)量范圍寬等特點(diǎn)。b)熱電偶規(guī)利用熱電效應(yīng)進(jìn)行真空度測(cè)量的儀器,其**原理在于熱電偶的溫差電勢(shì)與周圍氣體壓力的關(guān)系。隨著真空度的變化,熱電偶的溫差電勢(shì)也會(huì)相應(yīng)改變,從而提供關(guān)于真空度的信息。熱電偶規(guī)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作便捷等特點(diǎn)。
真空計(jì)的主要特點(diǎn):1.多種測(cè)量原理真空計(jì)有多種測(cè)量原理,如電容式、電離式、熱傳導(dǎo)式等。不同的測(cè)量原理具有不同的特點(diǎn)和適用范圍,用戶可以根據(jù)具體需求選擇合適的真空計(jì)。2.易維護(hù)一些真空計(jì)的設(shè)計(jì)使得其易于維護(hù)和校準(zhǔn)。例如,有些真空計(jì)的傳感器可以更換,這使得在傳感器損壞或老化時(shí)能夠方便地更換新的傳感器,從而延長(zhǎng)真空計(jì)的使用壽命。3.小型化和集成化隨著科技的發(fā)展,真空計(jì)正朝著小型化和集成化的方向發(fā)展。小型化的真空計(jì)更加便于攜帶和安裝,而集成化的真空計(jì)則能夠與其他設(shè)備或系統(tǒng)進(jìn)行集成,實(shí)現(xiàn)更加智能化的監(jiān)測(cè)和控制。然而,真空計(jì)也存在一些局限性,如某些類型的真空計(jì)易被污染、測(cè)量范圍相對(duì)較窄等。因此,在選擇和使用真空計(jì)時(shí),需要綜合考慮其優(yōu)缺點(diǎn)以及具體的應(yīng)用需求。綜上所述,真空計(jì)具有高精度、使用方便、穩(wěn)定性能良好、測(cè)量范圍廣、多種測(cè)量原理、易維護(hù)以及小型化和集成化等特點(diǎn)。這些特點(diǎn)使得真空計(jì)在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用前景和發(fā)展?jié)摿ΑD男┢放频恼婵沼?jì)質(zhì)量更好?

真空測(cè)量就是真空度的測(cè)量,而真空度(詳細(xì)注釋見(jiàn)前文:知識(shí)分享②|真空如何獲得?)是指低于大氣壓力注釋的氣體稀薄程度的物理量。通常,將用以探測(cè)低壓空間稀薄氣體壓力所用的儀器稱為真空計(jì)。注釋:大氣壓力:通常指一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓,壓強(qiáng)的單位之一。當(dāng)溫度為0℃(273.15K)時(shí),在重力加速度為980.655cm/s2處(即在地球緯度為45°的海平面上),使用**的密度為13.5951g/cm3,則760mm高的**柱所產(chǎn)生的壓強(qiáng)為1標(biāo)準(zhǔn)大氣壓。1毫米汞柱(mmHg)和1托(Torr)相近,兩者相差約千萬(wàn)分之一。1mmHg=1Torr=133.3Pa一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓1atm=101325Pa=760mmHg=1.01325bar=760Torr真空計(jì)選型需要注意什么?南京金屬真空計(jì)生產(chǎn)廠家
電容真空計(jì)通常適用于中低真空范圍的測(cè)量,如從大氣壓到幾千帕甚至更低。上海高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
8. 復(fù)合真空計(jì)復(fù)合真空計(jì)結(jié)合多種測(cè)量技術(shù),適用于從粗真空到超高真空的范圍。原理:通常結(jié)合皮拉尼真空計(jì)和電離真空計(jì)。測(cè)量范圍:10?1? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):測(cè)量范圍廣,適用性強(qiáng)。缺點(diǎn):成本較高。應(yīng)用:多功能真空系統(tǒng)。9. 其他真空計(jì)(1)放射性電離真空計(jì)原理:利用放射性物質(zhì)電離氣體分子測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 10?3 Torr。優(yōu)點(diǎn):無(wú)需電源,穩(wěn)定性好。缺點(diǎn):放射性物質(zhì)存在安全隱患。應(yīng)用:特殊環(huán)境真空測(cè)量。(2)聲波真空計(jì)原理:通過(guò)聲波傳播速度變化測(cè)量壓力。測(cè)量范圍:10?? Torr 到 1000 Torr。優(yōu)點(diǎn):非接觸式測(cè)量。缺點(diǎn):精度較低。應(yīng)用:特定工業(yè)應(yīng)用。上海高質(zhì)量真空計(jì)供應(yīng)商
真空計(jì)相關(guān)知識(shí)真空計(jì)的通信接口現(xiàn)代真空計(jì)標(biāo)配RS485/Modbus協(xié)議,**型號(hào)支持EtherCAT(延遲<1μs)。數(shù)字輸出可減少模擬信號(hào)噪聲,如電離規(guī)的離子電流低至10?12A。物聯(lián)網(wǎng)型真空計(jì)集成自診斷功能(如INFICON的SmartGauge)。16.真空計(jì)在航天器中的應(yīng)用衛(wèi)星推進(jìn)系統(tǒng)監(jiān)測(cè)需耐受-50~120℃溫度波動(dòng),采用冗余設(shè)計(jì)(如雙電離規(guī))。深空探測(cè)器使用輻射硬化芯片,抗單粒子效應(yīng)。阿波羅登月艙真空計(jì)采用鉭燈絲,適應(yīng)月球晝夜300℃溫差。皮拉尼真空計(jì)通常用于測(cè)量低壓氣體或真空系統(tǒng)中的壓力。河北mems皮拉尼真空計(jì)多少錢真空技術(shù)在生活中有著廣泛的應(yīng)用,它極大地改善了我們的生活質(zhì)量...