西藏真空泵互惠互利

微型化真空泵技術(shù)及發(fā)展本節(jié)簡(jiǎn)要介紹一些研究進(jìn)展較為明顯，或當(dāng)前關(guān)注度較高的微型化真空泵，主要包括膜片泵、射流/擴(kuò)散泵、努森泵和離子泵。2.1微型化膜片泵典型的單級(jí)膜片泵通常由一個(gè)腔體、一個(gè)泵膜、兩個(gè)閥門(mén)和一個(gè)致動(dòng)器組成，它利用泵膜的往復(fù)運(yùn)動(dòng)營(yíng)造腔體容積的周期性變化，利用單向閥門(mén)控制氣體流向，實(shí)現(xiàn)氣流的定向引入、輸出。膜片泵的原理、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，膜片材料可使用硅、電介質(zhì)和多種聚合物，驅(qū)動(dòng)機(jī)制可采用靜電、壓電、電滲、氣動(dòng)和磁力等[16]。關(guān)鍵部件的材料及加工都兼容MEMS工藝，使得膜片泵比較容易和其他微型器件集成，構(gòu)建片上型系統(tǒng)[17]。蠕動(dòng)泵是相對(duì)精密的儀器，主要靠泵殼保持較高精度的間隙，從而的擠壓泵管。西藏真空泵互惠互利

無(wú)油活塞泵：它是一種利用活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)產(chǎn)生的泵吸氣的真空設(shè)備，其工作原理是通過(guò)活塞的上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使氣體在泵筒內(nèi)產(chǎn)生壓縮和膨脹，從而產(chǎn)生負(fù)壓來(lái)吸氣。其廣泛應(yīng)用在醫(yī)療行業(yè)、電子制造、化工行業(yè)和食品行業(yè)等自動(dòng)化設(shè)備領(lǐng)域。無(wú)需油，符合工業(yè)環(huán)保要求無(wú)油活塞真空泵在整個(gè)工作過(guò)程中，無(wú)需使用潤(rùn)滑油，無(wú)油活塞真空泵氣缸內(nèi)壁特殊處理，形成自潤(rùn)滑，不會(huì)產(chǎn)生油霧和廢氣，有效減少了對(duì)環(huán)境的污染，相對(duì)傳統(tǒng)油式真空泵比較環(huán)保節(jié)能。在電機(jī)材質(zhì)和設(shè)計(jì)上也獨(dú)具匠心，電機(jī)能效比高，極低發(fā)熱量，提高電機(jī)的運(yùn)行效率和降低能源消耗，有效提高了節(jié)能環(huán)保的效果。西藏真空泵互惠互利在微型真空泵中，流量的大小決定了真空泵吸取氣的速度和能力。通常，流量越大，真空泵的吸氣能力越強(qiáng)。

活塞泵原理結(jié)構(gòu)：活塞泵靠活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，使得泵腔工作容積周期變化，實(shí)現(xiàn)吸入和排出液體。由泵缸、活塞、進(jìn)出水閥門(mén)、進(jìn)出水管、連桿和傳動(dòng)裝置組成?？縿?dòng)力帶動(dòng)活塞在泵缸內(nèi)作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞向上運(yùn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)水閥開(kāi)啟，水進(jìn)入泵缸，同時(shí)活塞上的水閥關(guān)閉，活塞上部的水隨活塞向上提升;當(dāng)活塞向下運(yùn)動(dòng)時(shí)，進(jìn)水閥關(guān)閉，活塞上的閥門(mén)開(kāi)啟，同時(shí)使泵缸下腔的水壓入上腔，并升入出水管，如此反復(fù)進(jìn)水和提升，使水不斷從出水管排出?；钊梅譃閱巍㈦p作用式;單、雙、多缸式;臥、立、斜式;機(jī)動(dòng)、手動(dòng)、腳踏、畜力式?；钊玫牧髁縌=0.71~6000米3/小時(shí)，排出壓力P2≤39.2兆帕，大多數(shù)情況下P2≤24.5兆帕?；钊玫牧髁渴怯杀酶字睆健⒒钊谐碳盎钊糠昼姷耐鶑?fù)次數(shù)確定的;揚(yáng)程取決于裝置管路特性，同一臺(tái)活塞泵流量不變，而揚(yáng)程可隨著裝置管路特性變化。即揚(yáng)程提高，而流量不變，只在高壓區(qū)，流量稍有減少。

有些真空泵因?yàn)楦咚龠\(yùn)動(dòng)部件制造比較困難，微型化后性能會(huì)大幅下降。如宏觀低真空比較常用的旋片泵，微型化時(shí)要保證旋片和腔體間嚴(yán)格密封以及高度耐磨，這對(duì)加工容差提出了很高的要求，迄今仍不能很好實(shí)現(xiàn)。利用先進(jìn)LIGA（Lithographie，Galvaonoformung & Abformung） 技術(shù)實(shí)現(xiàn)的、與旋片泵原理比較接近的微型精密旋轉(zhuǎn)齒輪泵，功能還只限于液體抽運(yùn)，而不能有效用于實(shí)現(xiàn)真空[10]。宏觀高真空比較常用的渦輪分子泵，雖然已有針對(duì)小型化的新設(shè)計(jì)提出[11]，但因其高速葉輪和復(fù)雜結(jié)構(gòu)制造與微加工兼容較差，目前只有部分采用微加工技術(shù)的準(zhǔn)微型化樣品[12]，全MEMS 微加工技術(shù)的分子泵成品尚未見(jiàn)報(bào)道。微型化真空泵對(duì)于微機(jī)電系統(tǒng)和真空微電子器件的真空封裝極具意義。

吸附物體，也叫真空吸附，實(shí)際上是利用微型真空泵對(duì)吸盤(pán)抽真空后吸住物體，從而起到懸掛、固定、移動(dòng)物體等作用?？蒲小⑨t(yī)療、實(shí)驗(yàn)室、印刷、儀器儀表等行業(yè)常常用來(lái)吸附芯片、電池、相紙、玻璃等。工作原理：把真空泵抽氣口通過(guò)管子、吸盤(pán)等元件與被吸附物體連接，用真空泵對(duì)吸盤(pán)抽真空，使吸盤(pán)與物體接觸區(qū)域，氣壓由常壓變?yōu)樨?fù)壓，利用外界大氣壓和這個(gè)負(fù)壓之間的壓差作用，達(dá)到吸附住物體的目的。體積小適合狹窄空間，性價(jià)比高；微型真空泵SVBY7506，負(fù)壓75kPa，峰值流量6L/min，PWM調(diào)速調(diào)流量；采用更耐用、更耐磨的品質(zhì)無(wú)刷電機(jī)，壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。泵微型蠕動(dòng)在沒(méi)有液體冷卻和潤(rùn)滑的情況下可能會(huì)產(chǎn)生更高的溫度。湖北醫(yī)療監(jiān)測(cè)真空泵

蠕動(dòng)泵還具有較好的自吸能力和可逆性，可以通過(guò)反轉(zhuǎn)滾輪或滑塊的方向來(lái)實(shí)現(xiàn)液體的反向流動(dòng)。西藏真空泵互惠互利

如何正確選擇一款微型蠕動(dòng)泵？確認(rèn)所輸送的流量的大小。通常流量選型參考單位：毫升/每分鐘ML/Min;CC/Min。確認(rèn)流體性質(zhì)，流體酸堿性,有無(wú)腐蝕性、是否為有機(jī)溶劑等。確認(rèn)所輸送的流體粘度，流體粘稠度，流動(dòng)性。確認(rèn)所輸送的流體中是否有顆粒物，顆粒物的大小。2、確認(rèn)所輸送的流體溫度。高溫或者超高溫，會(huì)影響的蠕動(dòng)泵和軟管泵所配蠕動(dòng)泵軟管的壽命。確認(rèn)所輸送距離，揚(yáng)程、吸程等。確認(rèn)所使用蠕動(dòng)泵的使用模式，只是簡(jiǎn)單的流體輸送、還是需要定時(shí)定量輸送、或配套設(shè)備使用、是否需要特殊接口等。西藏真空泵互惠互利

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