需要知道氣體成分,針對(duì)被抽氣體選擇相應(yīng)的泵。干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品,主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過(guò)程,真空度高,可適應(yīng)惡劣工況,具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力,特別適宜于潔凈環(huán)境,且易做防腐處理。使用干式螺桿真空泵比其它類型真空泵效率更高、無(wú)污染、更節(jié)能。半導(dǎo)體行業(yè)中,干式真空泵真空設(shè)備是芯片生產(chǎn)環(huán)節(jié)不可或缺的設(shè)備之一。螺桿真空泵單臺(tái)泵可以實(shí)現(xiàn)從105Pa到0.1Pa的工作范圍,排氣能力強(qiáng),在干式模式下運(yùn)行,綠色環(huán)保。華中真空設(shè)備注重自身科技硬實(shí)力打造,服務(wù)文化軟實(shí)力提升!貴州螺桿干式真空泵多少錢

自以來(lái)真空泵行業(yè)結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)型趨勢(shì)明顯,干式螺桿真空泵的出現(xiàn)替代了大部分油螺桿真空泵,在制藥、醫(yī)療器械、半導(dǎo)體行業(yè)均有應(yīng)用。半導(dǎo)體制造中主要應(yīng)用的真空泵類型包括干式真空泵以及渦輪分子泵。較早時(shí),油式真空泵是半導(dǎo)體行業(yè)中常用的真空泵種類,目前干泵成為了半導(dǎo)體行業(yè)主要的真空泵類型。疊式真空泵組合是為了滿足大抽氣速率,干式壓縮,高效節(jié)能需求而設(shè)計(jì)的。正是由于這種組合結(jié)構(gòu),干式真空管系統(tǒng)可調(diào)整無(wú)油爪式真空泵的數(shù)量和規(guī)格來(lái)適應(yīng)不同的工藝條件。甘肅干式螺桿真空泵價(jià)格淄博華中真空設(shè)備有限公司產(chǎn)品制造精良,配置檔次高,售后服務(wù)及時(shí)。

無(wú)油干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。如今,真空泵應(yīng)用在工業(yè)領(lǐng)域的方方面面,為了滿足不同細(xì)分行業(yè)的需求,干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵、擴(kuò)散泵、爪泵、活塞泵等逐一面世,這些都統(tǒng)稱為真空泵。干式螺桿真空泵同無(wú)油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤(rùn)滑上結(jié)構(gòu)類似,在傳動(dòng)方式上,少數(shù)用皮帶或者傳動(dòng)鏈傳動(dòng),一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件,進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件目前通用的是直連電機(jī)。
鋰電池真空泵屬非標(biāo)定制,因生產(chǎn)鋰離子電池的時(shí)候,工藝中含有腐蝕性氣體,所以選泵的時(shí)候,應(yīng)選擇耐腐蝕性的真空泵。同時(shí),選型時(shí)需要充分考慮使用需求,如真空度、抽速、所抽介質(zhì)成分等。干式真空泵是相對(duì)液環(huán)泵而言,泵的工作腔內(nèi)不需要密封冷卻液而得名。干式真空泵由于沒(méi)有密封液,且排氣壓力大于大氣壓,就可以在排氣側(cè)對(duì)排出的氣體進(jìn)行冷凝。涉及腐蝕性氣體,顆粒、除塵器等,氣體中含不含可凝蒸氣。如果氣體中含有蒸氣了解被抽氣體成分,選擇真空泵時(shí),有無(wú)顆?;覊m,有無(wú)腐蝕性等,如冷凝器,應(yīng)該考慮在泵的進(jìn)氣口管路上安裝輔助設(shè)備。山東華中以優(yōu)良的品質(zhì)、束越的特性和完善的售后服務(wù)體系,得到客戶的認(rèn)可和支持!

在多晶硅制備、半導(dǎo)體刻蝕等工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒,除半導(dǎo)體的某些產(chǎn)品需要微粒的工藝外,一般不希望微粒混入泵油中,而希望將微粒排出泵外,干式螺桿真空泵能夠滿足要求。常用真空泵包括干式螺桿真空泵,水環(huán)泵往復(fù)泵,滑閥泵旋片泵,羅茨泵和擴(kuò)散泵等,這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力,近年來(lái),伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展,真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭,同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下,我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。華中真空設(shè)備生產(chǎn)條件完善,檢測(cè)手段完整齊全,值得信賴!甘肅干式螺桿真空泵價(jià)格
華中真空設(shè)備是以科研、生產(chǎn)、銷售為一體的真空設(shè)備專業(yè)生產(chǎn)廠家。貴州螺桿干式真空泵多少錢
轉(zhuǎn)子與轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵體之間沒(méi)有摩擦且保持一定的間隙,兩個(gè)轉(zhuǎn)子與泵體之間形成了密封腔。除開(kāi)干液真空泵選擇外,干式真空泵又分為:羅茨真空泵、螺桿式真空泵、爪式真空泵等。在實(shí)際工作環(huán)境下,還需要更細(xì)致地選擇真空泵類型,按照自己的工況,選擇需要的真空度、抽速等,配備合適的進(jìn)氣排氣過(guò)濾器,結(jié)合真空泵的系統(tǒng)組成和復(fù)雜情況等,選擇合適自己的真空泵,能夠有效地降低能耗、高效生產(chǎn)、保證工藝過(guò)程順利進(jìn)展。常見(jiàn)的機(jī)械干泵有羅茨式、螺桿式、爪式、往復(fù)式、渦旋式等。貴州螺桿干式真空泵多少錢