如何監(jiān)測快速退火爐RTP氧含量？

上海高傳電子科技有限公司2023-12-05

快速熱處理或快速熱處理(RTP/RTA)是一種半導(dǎo)體制造工藝，它提供了一種快速加熱樣品到高溫的方法，以便在幾分鐘的時(shí)間尺度上執(zhí)行短過程。這種快速加熱速率是由測量樣品溫度的高溫計(jì)和熱電偶控制的強(qiáng)度燈(例如近紅外光源-鎢鹵燈)實(shí)現(xiàn)的。冷卻也需要完全控制，以防止位錯(cuò)和樣品斷裂?？焖贌崽幚砥鸪跏菫殡x子注入退火而開發(fā)的，但已將其應(yīng)用范圍擴(kuò)大到氧化、硅化物形成、化學(xué)氣相沉積和應(yīng)用，如修改元素、化合物或合金的晶體相以增強(qiáng)性能、晶格界面或應(yīng)力松弛。RTP是一種靈活的技術(shù)，可提供快速加熱和冷卻，加工溫度約為200-1300°C，斜坡速率通常為20-200°C/秒，結(jié)合優(yōu)異的氣體環(huán)境控制，允許在一個(gè)加工配方中創(chuàng)建復(fù)雜的多階段工藝。

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