氣體檢測儀在電子級氫氟酸提純車間能檢測哪些痕量雜質(zhì)？

廣東斯柯森氣體檢測設(shè)備有限公司2025-10-13

電子級氫氟酸（EL 級）提純需控制 ppb 級痕量雜質(zhì)，斯柯森 SKSG-DZ 系列固定式氣體檢測儀采用激光吸收光譜技術(shù)，可檢測：水（0-20ppb）、氧氣（0-20ppb）、二氧化硫（0-10ppb）。設(shè)備采樣系統(tǒng)為全氟材質(zhì)（PFA 管路 + 氟橡膠密封），避免雜質(zhì)溶出；安裝在提純塔出口及超凈分裝區(qū)，支持與超純水制備系統(tǒng)聯(lián)動(dòng)，當(dāng)水含量超標(biāo)時(shí)，自動(dòng)切換純化柱，確保氫氟酸純度滿足半導(dǎo)體晶圓刻蝕要求（雜質(zhì)＜50ppb），符合 SEMI C30-0304 電子級化學(xué)品標(biāo)準(zhǔn)，保障芯片生產(chǎn)質(zhì)量。

本回答由 廣東斯柯森氣體檢測設(shè)備有限公司 提供