真空固晶爐加熱管損壞，有什么表現(xiàn)？

廣東華芯半導體技術有限公司2025-10-09

表現(xiàn)有三點：一是爐內溫度不均，局部區(qū)域未達設定值，導致部分芯片膠水未固化；二是升溫速率變慢，焊接周期延長 10-20 分鐘，影響效率；三是設備報錯提示 “溫度異?！保瑹o法正常啟動固化程序。發(fā)現(xiàn)后需停機，拆除損壞加熱管，更換同規(guī)格新管，安裝后校準溫控系統(tǒng)，確保溫度誤差≤±1℃。廣東華芯半導體技術有限公司可提供適配加熱管與更換指導。

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