如何選擇合適的快速退火爐載盤材質(zhì)？

東莞市晟鼎精密儀器有限公司2024-05-10

碳化硅載盤是一種常用的材質(zhì)，它采用碳化硅材料制成，適用于半導體制造過程中晶圓的承載容器。碳化硅載盤具有耐高溫、耐腐蝕、熱穩(wěn)定性好等特點，能夠在高溫環(huán)境下保持較好的性能穩(wěn)定性。此外，碳化硅載盤的控溫精細度較高，能夠確保晶圓在退火過程中受熱均勻，減少炸盤現(xiàn)象的發(fā)生。然而，碳化硅載盤的使用壽命會受到保養(yǎng)和使用環(huán)境的影響，如果不注意保養(yǎng)或者長時間處于化學物質(zhì)腐蝕的環(huán)境中，其壽命會減短。

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