廣東華升納米科技股份有限公司2025-11-22

金屬表面處理真空鍍膜設備運行中若突然斷電重啟，應先確保人身與設備安全，再按以下步驟快速恢復金屬表面處理生產(chǎn)。1.斷電瞬間立即關閉高閥與所有氣源，防止油泵返油污染真空腔。2.記錄腔室壓力、溫度及工步號，為后續(xù)工藝續(xù)接提供依據(jù)。3.恢復供電后先啟動冷卻水與壓縮空氣，確認無短路報警；若UPS失效，需檢查PLC、MFC與射頻電源保險絲，更換熔斷件并邏輯錯誤。4.待機械泵抽至<10 Pa后開啟分子泵，按預置程序執(zhí)行無基片空跑，驗證靶電源與氣體流量穩(wěn)定。5.確認真空≤5×10?3 Pa且各項參數(shù)正常后，重新裝片并調用斷電續(xù)鍍配方，利用晶振自動補償膜厚，可將金屬表面處理損失降至比較低，保障金屬表面處理批次一致性。

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