如何確保半導(dǎo)體設(shè)備安裝的水平精度？

上海笙電電力科技有限公司2025-02-20

確保半導(dǎo)體設(shè)備安裝水平精度需精細(xì)操作。首先，采用高精度水準(zhǔn)儀、電子水平儀等測(cè)量工具，在設(shè)備安裝基座處建立精確基準(zhǔn)平面，測(cè)量精度可達(dá)0.01mm/m。設(shè)備就位前，對(duì)基座進(jìn)行研磨、找平處理，使其平整度達(dá)標(biāo)。設(shè)備安裝過程中，利用可調(diào)節(jié)千斤頂、斜墊鐵等工具，依據(jù)測(cè)量數(shù)據(jù)微調(diào)設(shè)備高度與傾斜度，邊調(diào)整邊復(fù)測(cè)，直至設(shè)備水平度誤差控制在極小范圍，如關(guān)鍵加工平面水平度不超過0.02mm/m，保障設(shè)備運(yùn)行平穩(wěn)，加工精度可靠。我們笙電電力科技具有完善的組織架構(gòu)、專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)及強(qiáng)大的項(xiàng)目執(zhí)行能力，竭誠(chéng)為廣大客戶提供周到的設(shè)備安裝服務(wù)！

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