半導(dǎo)體CVD工藝對純度和表面質(zhì)量要求高，能用碳化硅產(chǎn)品嗎？

江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-10-04

半導(dǎo)體CVD工藝需在高溫、高潔凈環(huán)境下進(jìn)行，對反應(yīng)腔部件的要求極為嚴(yán)苛：純度需＞99.9%，表面粗糙度需Ra＜0.01μm，而碳化硅產(chǎn)品完全可滿足這些要求，通過高純原料和無金屬污染燒結(jié)工藝，達(dá)到半導(dǎo)體級純度標(biāo)準(zhǔn)，采用超精密研磨拋光技術(shù)，表面可實(shí)現(xiàn)鏡面級光潔度，且表面無氣孔、裂紋等缺陷，不會導(dǎo)致氣相沉積過程中出現(xiàn)顆粒污染，1100℃下無揮發(fā)物析出，適配CVD工藝的長期連續(xù)運(yùn)行，江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司已為多家半導(dǎo)體廠商提供CVD用碳化硅部件，可提供潔凈度檢測報告。

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