銀漿無(wú)氧烤箱能固化納米銀漿嗎？需注意什么？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-28

能，但需針對(duì)性調(diào)整：納米銀漿（顆粒徑＜50nm）活性高，氧含量需嚴(yán)控在 10ppm 以下，防止顆粒表面氧化；固化溫度比普通銀漿低 20-30℃（如常規(guī) 200℃降至 170-180℃），保溫時(shí)間延長(zhǎng) 15-20min，避免納米顆粒團(tuán)聚；升溫速率降至 1-2℃/min，減少熱應(yīng)力導(dǎo)致的銀層開(kāi)裂。固化后需檢測(cè)銀層致密度（＞95%），確保導(dǎo)電性（電阻率≤1.8×10??Ω?cm）。建議搭配真空輔助功能，在固化初期抽至 50-100Pa，加速溶劑揮發(fā)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的烤箱，支持納米銀漿特定固化程序。

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