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ETS蜂鳥閥的量子傳感技術(shù)如何提升控制精度？

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上海大載機(jī)電有限公司2025-07-02

集成氮空位色心傳感器：①位置檢測分辨率達(dá)0.1nm；②零漂移特性；③耐強(qiáng)電磁干擾。實(shí)現(xiàn)閥位控制精度±0.001mm，比傳統(tǒng)編碼器提高100倍，特別適合光刻機(jī)等精密裝備。

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上海大載機(jī)電有限公司

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簡介：2012 年成立的上海大載機(jī)電，丹佛斯代理企業(yè)。品質(zhì)保真，專業(yè)服務(wù)，從銷售到銷服一體，未來持續(xù)創(chuàng)新。

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