成都遠(yuǎn)恒精密測控技術(shù)有限公司2026-01-07
光柵測微傳感器的精度還與測量速度相關(guān),低速測量時(shí)精度更高,高速運(yùn)動(dòng)(如 1m/s 以上)可能因信號滯后導(dǎo)致精度下降至 ±2μm~±5μm。
采用雙光柵消差技術(shù)的測微傳感器,可消除溫度和機(jī)械變形帶來的誤差,精度比單光柵結(jié)構(gòu)提升 50% 以上。
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