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上海慕共實業(yè)有限公司2025-11-22
半導(dǎo)體生產(chǎn)可選用上海慕共實業(yè)代理的 ZTGas 氣體混配器，該設(shè)備適配沉積、刻蝕、清潔、退火、封裝測試等多環(huán)節(jié)工藝需求。設(shè)備支持氮氣、氬氣、氫氣等多種氣體的二元或三元混合，比例控制誤差可控制在 ±0.5% 以內(nèi)，部分機(jī)型能達(dá)到 ±0.1%，可滿足不同制程對氣體比例的要求。外殼采用不銹鋼材質(zhì)，具備良好的環(huán)境防護(hù)性能，內(nèi)置進(jìn)氣過濾器能攔截雜質(zhì)，保護(hù)氣動性能。上海慕共實業(yè)可根據(jù)具體工藝環(huán)節(jié)與氣體類型，提供適配的設(shè)備型號及相關(guān)技術(shù)支持。
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上海慕共實業(yè)提供的 ZTGas 氣體混配器適用于半導(dǎo)體生產(chǎn)場景，其在全流量范圍內(nèi)能保持比例無衰減穩(wěn)定性，工況波動時對配比影響較小。部分機(jī)型搭載雙路混合器出口控制系統(tǒng)，可實現(xiàn) “一用一備” 同時供應(yīng)，能應(yīng)對產(chǎn)能波峰波動，保障生產(chǎn)連續(xù)性。設(shè)備還可選配遠(yuǎn)程監(jiān)控功能，通過相關(guān)系統(tǒng)實時查看流量、壓力、混合氣比例等數(shù)據(jù)，支持歷史數(shù)據(jù)追溯與故障預(yù)警。入口壓力Max可達(dá)到 25bar，流量規(guī)格涵蓋 15Nm3/h 至 100Nm3/h 等多個范圍，上海慕共實業(yè)可提供安裝調(diào)試與售后維護(hù)服務(wù)。
半導(dǎo)體生產(chǎn)選擇 ZTGas 氣體混配器時，可結(jié)合產(chǎn)能規(guī)模與工藝精度需求，上海慕共實業(yè)作為代理方提供多型號適配方案。小型生產(chǎn)線或?qū)嶒炇铱蛇x用小流量機(jī)型，大型工廠可根據(jù)產(chǎn)能需求選擇對應(yīng)流量的工業(yè)級機(jī)型，設(shè)備流量覆蓋 0.1~1000L/min 范圍。針對封裝測試等對氣體穩(wěn)定性要求較高的環(huán)節(jié)，設(shè)備能通過穩(wěn)定輸出混合氣體助力保障生產(chǎn)良率。上海慕共實業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊會依據(jù)生產(chǎn)制程、氣體組分及產(chǎn)能規(guī)模等因素，推薦適配的設(shè)備型號，確保與生產(chǎn)流程銜接。
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