光柵位移傳感器如何提升測量精度？

成都遠恒精密測控技術(shù)有限公司2026-01-05

光柵位移傳感器的基本原理是利用光的干涉和衍射現(xiàn)象來測量位移。傳感器內(nèi)部的光柵結(jié)構(gòu)能夠?qū)⑷肷涔夥殖啥鄠€衍射光束，通過分析這些光束的相位變化，可以精確計算出物體的位移。為了提高測量精度，光柵的設(shè)計和制造工藝至關(guān)重要。高質(zhì)量的光柵能夠減少光的散射和衍射誤差，從而提高測量的準確性。現(xiàn)代光柵的制造技術(shù)，如電子束光刻和納米壓印技術(shù)，使得光柵的周期和深度可以達到納米級別，這為高精度測量提供了基礎(chǔ)。

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