垂直固化爐固化聚酰亞胺基板，參數(shù)怎么設(shè)？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-28

聚酰亞胺基板耐熱性強(qiáng)（長期耐受 260℃），固化參數(shù)需適配：預(yù)熱溫度 80-100℃，保溫 25-35min，去除基板潮氣；固化溫度 180-220℃（根據(jù)膠水類型，環(huán)氧膠選 180-200℃，聚酰亞胺膠選 200-220℃），保溫 50-70min，確保膠水與基板充分結(jié)合；冷卻速率 6-8℃/min，降至室溫。若基板帶柔性區(qū)域，需在固化后緩慢冷卻至 50℃以下，避免柔性區(qū)域變形。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的垂直固化爐，可精細(xì)適配聚酰亞胺基板固化。

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