真空固晶爐能固晶尺寸不一的混合芯片嗎？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-10

能固晶混合芯片（如同一基板固晶 0.5mm 芯片與 5mm 芯片）。需配備可切換吸嘴模組，自動(dòng)更換對(duì)應(yīng)尺寸吸嘴；點(diǎn)膠系統(tǒng)需支持多點(diǎn)位不同膠量設(shè)定，如 0.5mm 芯片點(diǎn)膠 0.004mg，5mm 芯片點(diǎn)膠 0.02mg；真空度設(shè) 15-30Pa，兼顧不同芯片排氣需求。視覺定位需分別校準(zhǔn)各尺寸芯片，確保精度。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空固晶爐可靈活適配混合芯片固晶。

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