半導(dǎo)體制程里載盤高溫下容易變形，有沒(méi)有耐高溫、不變形的材料？

江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-09-12

半導(dǎo)體制程對(duì)載盤的尺寸穩(wěn)定性要求極其嚴(yán)格，傳統(tǒng)材料的熱變形問(wèn)題直接影響產(chǎn)品良品率，碳化硅陶瓷載盤憑借其獨(dú)特的材料特性很好地應(yīng)對(duì)了這一技術(shù)難點(diǎn)。碳化硅具備高硬度、高彈性模量的力學(xué)性能組合，同時(shí)熱膨脹系數(shù)極低，與氮化硅、多晶硅的熱膨脹系數(shù)相近，確保了在溫度變化過(guò)程中的尺寸穩(wěn)定性。碳化硅陶瓷材料特別適合用于光電照明外延片制造中的ICP刻蝕工藝、PVD工藝、RTP工藝、CMP工藝用載盤等精密陶瓷結(jié)構(gòu)件，以及半導(dǎo)體裝備中的各種精密結(jié)構(gòu)件。良好的比剛度和光學(xué)加工性能進(jìn)一步提升了載盤的精度和使用壽命。江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司為半導(dǎo)體和光電照明行業(yè)提供的高精度載盤產(chǎn)品，有效提升了制程穩(wěn)定性和產(chǎn)品良品率。歡迎半導(dǎo)體行業(yè)客戶聯(lián)系三責(zé)新材料，獲取定制化載盤解決方案和技術(shù)支持。

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