半導(dǎo)體硅片傳輸系統(tǒng)清洗后尺寸不能變化，碳化硅能保證精度嗎？

江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司2025-10-05

半導(dǎo)體硅片傳輸系統(tǒng)的部件需頻繁進(jìn)行化學(xué)清洗和超聲波清洗，普通材料易因清洗過程中的腐蝕、熱脹冷縮導(dǎo)致尺寸變化，影響硅片傳輸精度，而碳化硅具備良好的尺寸穩(wěn)定性，化學(xué)惰性高，耐受各類半導(dǎo)體清洗液腐蝕，清洗后無失重、無變形，熱膨脹系數(shù)4.5×10??/℃，清洗過程中尺寸變化量遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體傳輸系統(tǒng)對尺寸精度的要求，通過數(shù)控研磨、激光加工等工藝，可將碳化硅部件的尺寸公差控制在±0.002mm以內(nèi)，且清洗后公差無變化，江蘇三責(zé)新材料科技股份有限公司可按傳輸系統(tǒng)部件的精密尺寸要求定制碳化硅產(chǎn)品，保障清洗后性能穩(wěn)定。

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