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光學(xué)電子凈化工程對溫濕度的控制精度要求是多少？?

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溫州開泰凈化科技有限公司2025-10-28

溫度控制精度±0.5℃（如半導(dǎo)體光刻區(qū)23±0.5℃），濕度控制精度±3%RH（通常45±3%RH）；溫濕度波動(dòng)過大會(huì)導(dǎo)致光學(xué)鏡頭變形、芯片材料熱脹冷縮，影響產(chǎn)品精度，開泰采用高精度溫濕度傳感器與PID控制系統(tǒng)，確保實(shí)時(shí)調(diào)控。?

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