真空氣相焊焊接 IGBT 模塊，需注意哪些工藝細(xì)節(jié)？

廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司2025-10-16

IGBT 模塊焊接需關(guān)注三點(diǎn)：一是溫度控制，因模塊含陶瓷基板，升溫速率設(shè) 1-2℃/s，最高溫度按焊料定（如高溫焊料設(shè) 280-300℃），避免基板開裂；二是真空度分段控制，預(yù)熱階段 100-200Pa 排潮氣，焊接階段 20-50Pa 排焊區(qū)氣體，空洞率可＜2%；三是冷卻速率設(shè) 3-5℃/s，減少模塊內(nèi)部熱應(yīng)力，防止焊層脫落。焊接后需檢測(cè)模塊絕緣性能，確保達(dá)標(biāo)。廣東華芯半導(dǎo)體技術(shù)有限公司的真空氣相焊設(shè)備，專為 IGBT 等大功率模塊設(shè)計(jì)，工藝適配性強(qiáng)。

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