等離子蝕刻設(shè)備真空腔室密封件潤滑難題有哪些？

真空腔室密封件的潤滑效果直接影響設(shè)備的真空保持能力和運行穩(wěn)定性，而密封件材質(zhì)多樣（如氟橡膠、硅橡膠等），普通潤滑脂易與部分材質(zhì)發(fā)生反應(yīng)，導(dǎo)致密封件溶脹、硬化。油邦手全氟聚醚潤滑脂經(jīng)過針對性配方優(yōu)化，與主流密封件材質(zhì)均能實現(xiàn)良好兼容，不會引發(fā)材質(zhì)變形或性能退化。在實際應(yīng)用中，該潤滑脂能緊密附著于密封件表面，即使在設(shè)備頻繁啟停、溫度波動的工況下，仍能保持潤滑膜的完整性，避免密封面因潤滑不足出現(xiàn)干磨現(xiàn)象，有效降低密封件損壞風(fēng)險，同時減少設(shè)備因密封問題導(dǎo)致的停機(jī)維護(hù)次數(shù)，提升生產(chǎn)效率。

等離子蝕刻設(shè)備運行時，真空腔室需承受反復(fù)的真空 - 泄壓循環(huán)，密封件面臨持續(xù)的壓力變化和摩擦損耗，傳統(tǒng)潤滑脂難以適應(yīng)這種動態(tài)工況，易出現(xiàn)潤滑流失、失效等問題。油邦手全氟聚醚潤滑脂具備優(yōu)異的粘附性能，能牢固吸附在密封件表面，不會因壓力變化或輕微振動發(fā)生流失，確保在動態(tài)工況下持續(xù)提供潤滑保護(hù)。此外，該潤滑脂的抗壓縮變形能力較強(qiáng)，能適應(yīng)真空腔室的壓力波動，維持穩(wěn)定的潤滑效果，減少密封件因壓力沖擊產(chǎn)生的磨損，同時幫助密封件更好地貼合密封面，進(jìn)一步提升真空密封可靠性，保障蝕刻工藝的連續(xù)性和穩(wěn)定性。