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高真空球閥的漏率標(biāo)準(zhǔn)是多少？

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上海碟嘉真空閥門有限公司2025-10-11

軟密封型漏率≤1×10?1?Pa·m3/s，硬密封型≤1×10??Pa·m3/s，滿足半導(dǎo)體超高真空要求。

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上海碟嘉真空閥門有限公司

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簡介：上海碟嘉真空閥門有限公司是一家專業(yè)從事真空閥門研發(fā)、設(shè)計(jì)、制造、銷售和服務(wù)的企業(yè)。

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