如何評(píng)價(jià)金屬在含氟介質(zhì)中的腐蝕行為？

江蘇天鼎檢測(cè)科技有限公司2025-11-30

含氟介質(zhì)（如HF、NaF）對(duì)材料的腐蝕極具挑戰(zhàn)性，江蘇天鼎檢測(cè)科技有限公司專門設(shè)計(jì)了聚四氟乙烯材質(zhì)的全密閉測(cè)試系統(tǒng)，配備在線pH/氟離子濃度監(jiān)測(cè)。我們依據(jù)ASTMG1標(biāo)準(zhǔn)，采用失重法結(jié)合表面分析技術(shù)（如XPS）進(jìn)行研究。例如，在半導(dǎo)體行業(yè)用高純鋁測(cè)試中，我們發(fā)現(xiàn)10ppmHF就會(huì)破壞天然氧化膜，導(dǎo)致點(diǎn)蝕密度增加10倍。我們還創(chuàng)新性地應(yīng)用二次諧波成像技術(shù)（SHG），原位觀測(cè)氟離子對(duì)鋁表面鈍化膜的擊穿過程，時(shí)間分辨率達(dá)毫秒級(jí)。這些數(shù)據(jù)幫助客戶優(yōu)化了晶圓清洗工藝，將腐蝕損耗降低60%。

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