負(fù)壓力傳感器在真空環(huán)境下的精度如何保證？?

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北京華毅澳峰自動化設(shè)備有限公司2025-10-06

真空環(huán)境（壓力常低于 1kPa，甚至達(dá)高真空級別）對負(fù)壓力傳感器精度影響突顯，華毅澳峰從技術(shù)設(shè)計、材料工藝、校準(zhǔn)體系三方面構(gòu)建保障。首先是重點技術(shù)優(yōu)化，采用高精度 MEMS 壓阻芯片并搭配真空適配的信號處理模塊，通過溫度補(bǔ)償算法抵消真空環(huán)境下溫度波動（-40℃~125℃）對芯片阻值的影響，同時設(shè)計低應(yīng)力封裝結(jié)構(gòu)，避免真空度變化導(dǎo)致的封裝形變干擾壓力檢測，確保在 10Pa~100kPa 負(fù)壓區(qū)間內(nèi)，精度維持在 ±0.1% FS 以內(nèi)。其次是材料與密封性把控，傳感器接觸真空的部件選用很低放氣率的 316L 不銹鋼、陶瓷等材料，減少真空環(huán)境下材料放氣對壓力場的干擾；采用激光焊接與金屬密封工藝，密封等級達(dá) IP68，防止外界氣體滲入破壞真空環(huán)境，保障測量基準(zhǔn)穩(wěn)定。是專項校準(zhǔn)體系，每臺傳感器出廠前均在模擬真空環(huán)境的校準(zhǔn)艙內(nèi)，通過標(biāo)準(zhǔn)真空計進(jìn)行多點（5% FS、25% FS、50% FS、75% FS、100% FS）校準(zhǔn)，生成專屬校準(zhǔn)曲線，用戶還可根據(jù)真空度等級定制周期性校準(zhǔn)服務(wù)，進(jìn)一步確保長期測量精度。