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需要指出的是，金屬電介質(zhì)反射膜增加了某一波長（或者某一波區(qū)）的反射率，卻破壞了金屬膜中性反射的特點。全電介質(zhì)反射膜是建立在多光束干涉基礎(chǔ)上的。與增透膜相反，在光學(xué)表面上鍍一層折射率高于基體材料的薄膜，就可以增加光學(xué)表面的反射率。**簡單的多層反射膜是由高、低折射率的二種材料交替蒸鍍而成的,每層膜的光學(xué)厚度為某一波長的四分之一。在這種條件下，參加疊加的各界面上的反射光矢量，振動方向相同。合成振幅隨著薄膜層數(shù)的增加而增加。圖2給出這種反射膜的反射率隨著層數(shù)而變化的情形。一般高反射膜，隨著入射角的增大，垂直分量的反射帶寬逐漸增大，而平行分量的帶寬逐漸減少。海安質(zhì)量光學(xué)膜廠家直銷

光學(xué)薄膜按應(yīng)用分為反射膜、增透膜、濾光膜、光學(xué)保護(hù)膜、偏振膜、分光膜和位相膜。常用的是前4種。光學(xué)反射膜用以增加鏡面反射率，常用來制**光、折光和共振腔器件。光學(xué)增透膜沉積在光學(xué)元件表面，用以減少表面反射，增加光學(xué)系統(tǒng)透射，又稱減反射膜。光學(xué)濾光膜用來進(jìn)行光譜或其他光性分割，其種類多，結(jié)構(gòu)復(fù)雜。光學(xué)保護(hù)膜沉積在金屬或其他軟性易侵蝕材料或薄膜表面，用以增加其強度或穩(wěn)定性，改進(jìn)光學(xué)性質(zhì)。最常見的是金屬鏡面的保護(hù)膜。蘇州本地光學(xué)膜操作棱鏡型偏振膜利用布儒斯特角入射時界面的偏振效應(yīng)（見光在分界面上的折射和反射）。

光學(xué)薄膜指通過物理化學(xué)方法在光學(xué)器件表面沉積的膜系，利用光的干涉效應(yīng)改變光學(xué)特性，實現(xiàn)增透、反射、分光等功能。其應(yīng)用始于20世紀(jì)30年代，現(xiàn)***用于光學(xué)及光電子領(lǐng)域。按功能可分為增透膜、高反膜、濾光膜等類型，材料分為金屬膜（如鋁、銀、金）和非金屬膜兩類，金屬膜常用于反射鏡，非金屬膜因穩(wěn)定性高而應(yīng)用更廣。光學(xué)薄膜通過控制膜層折射率與厚度實現(xiàn)光波干涉，單層膜可減少反射光，多層組合可擴展低反射率波帶。1961年，三層抗反射膜技術(shù)的提出***提升了寬波帶性能。制造技術(shù)包括熱電阻蒸鍍、電子束蒸發(fā)和濺射法，其中濺射法附著力比較好。隨著光電產(chǎn)業(yè)發(fā)展，光學(xué)薄膜在通訊、顯示、存儲等領(lǐng)域成為關(guān)鍵組件，如投影設(shè)備、光通訊濾波片等，其技術(shù)進(jìn)步直接影響現(xiàn)代光學(xué)儀器的性能演進(jìn)。

圖19.12示出裝配在高真空鍍膜機基板上的硬件布局。兩個電子槍源位于基板兩邊，周圍是環(huán)形罩并被擋板覆蓋。離子源位于中間，光控窗口在離子源的前方。圖19.13示出真空室的頂部，真空室里有含6個圓形夾具的行星系統(tǒng)。夾具用于放置被鍍膜的光學(xué)元件。使用行星系統(tǒng)是保證被蒸發(fā)材料在夾具區(qū)域內(nèi)均勻分布的優(yōu)先方法。夾具繞公共軸旋轉(zhuǎn)，同時繞其自身軸旋轉(zhuǎn)。光控和晶控處于行星驅(qū)動機械裝置的中部，驅(qū)動軸遮擋晶控。背面的大開口通向附加的高真空泵?；准訜嵯到y(tǒng)由4個石英燈組成，真空室的兩邊各兩個。反射膜一般可分為兩大類，一類是金屬反射膜，一類是全電介質(zhì)反射膜。

帶通濾光片只允許光譜帶中的一段通過，而其他部分全部被濾掉,按照它們結(jié)構(gòu)的不同可分為法布里-珀羅型濾光片、多腔濾光片和誘增透濾光片。法布里－珀羅型濾光片的結(jié)構(gòu)與法－珀標(biāo)準(zhǔn)具（見法布里－珀**涉儀）相同，因為由它獲得的透過光譜帶都比較窄，所以又叫窄帶干涉濾光片。這種濾光片的透過率對薄膜的損耗非常敏感，所以制備透過率很高、半寬度又很窄的濾光片是很困難的。多腔濾光片又叫矩形濾光片，它可以做窄帶帶通濾光片，又可以做寬帶帶通濾光片，制備波區(qū)較寬，透過率高，波紋小的多腔濾光片同樣是困難的偏振分光膜是利用光斜入射時薄膜的偏振效應(yīng)制成的。海門區(qū)國內(nèi)光學(xué)膜均價

常用的保護(hù)膜材料有一氧化硅、氟化鎂、二氧化硅、三氧化二鋁等。海安質(zhì)量光學(xué)膜廠家直銷

**簡單的光學(xué)薄膜模型是表面光滑、各向同性的均勻介質(zhì)薄層。在這種情況下，可以用光的干涉理論來研究光學(xué)薄膜的光學(xué)性質(zhì)。當(dāng)一束單色平面波入射到光學(xué)薄膜上時，在它的兩個表面上發(fā)生多次反射和折射，反射光和折射光的方向由反射定律和折射定律給出，反射光和折射光的振幅大小則由菲涅耳公式確定（見光在分界面上的折射和反射）。光學(xué)薄膜的特點是：表面光滑，膜層之間的界面呈幾何分割；膜層的折射率在界面上可以發(fā)生躍變，但在膜層內(nèi)是連續(xù)的；可以是透明介質(zhì)，也可以是吸收介質(zhì)；可以是法向均勻的，也可以是法向不均勻的。實際應(yīng)用的薄膜要比理想薄膜復(fù)雜得多。這是因為：制備時，薄膜的光學(xué)性質(zhì)和物理性質(zhì)偏離大塊材料，其表面和界面是粗糙的，從而導(dǎo)致光束的漫散射；膜層之間的相互滲透形成擴散界面；由于膜層的生長、結(jié)構(gòu)、應(yīng)力等原因，形成了薄膜的各向異性；膜層具有復(fù)雜的時間效應(yīng)。海安質(zhì)量光學(xué)膜廠家直銷

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